Point-of-Use Abgasreinigung mit STYRAX
Burn-Wet- und Plasma-Wet-Systeme für Prozesse in der Halbleiterindustrie
STYRAX – Abgasreinigung für anspruchsvolle High-Volume-Prozesse.
STYRAX ist die leistungsstarke Produktfamilie von DAS für anspruchsvolle Hochvolumen-Herstellungsumgebungen. Die Produktfamilie umfasst Point-of-Use Brenner-Wäscher- und Plasma-Wäscher-Systeme mit besonders kompakter Stellfläche.
Sie wurde speziell für Prozessgase aus CVD, Oxide-/Poly-/Metal-Etch, Epitaxie, GaN, MOCVD und LED-Fertigung entwickelt. STYRAX zeichnet sich durch hohe Effizienz bei gleichzeitig geringem Umweltimpact aus und erreicht eine exzellente Abbauleistung (DRE), etwa > 95 % für CF₄. Dank ihrer hohen Kapazität für CVD-Gase wie H₂, SiH₄, TEOS und viele weitere sowie umfassender Sicherheitsmaßnahmen schützt STYRAX Umwelt, Gesundheit und Anlagen gleichermaßen.
Industrieprozesse mit STYRAX effizient behandeln
STYRAX Brenner-Wäscher
Die Entwicklung der STYRAX-Produktfamilie basiert auf zwei wesentlichen Ansprüchen für eine moderne Abgasreinigung: Verbesserte PFC-Behandlung und Wartungsintervalle. Außerdem ist die Nasswäscherstufe HF-optimiert, d. h. Wasser- und/oder Laugenverbrauch sind minimiert. Das spezielle Design der Schadgaseinlässe verhindert ein Verblocken. Für spezielle Prozesse sind weitere Optionen zur Verlängerung der Wartungsintervalle entwickelt worden.
STYRAX Plasma-Wäscher
Die STYRAX Plasma-Wäscher nutzen elektrische Energie direkt und höchst effizient. Dank der Integration eines leistungsstarken DC-Plasma-Torchs und einer 15-kW-Stromversorgung wird eine optimale Energieausbeute erzielt. Das bewährte Reaktordesign und die Waschstufe wurden beibehalten, wodurch die STYRAX Plasma-Wäscher ebenso zuverlässig und wartungsfreundlich sind die Brenner-Wäscher-Version. Der Footprint bleibt unverändert kompakt. Gleichzeitig wird der Energieverbrauch um beeindruckende 50 % gesenkt!
Brenner-Wäscher-Technologie für sichere Abgasreinigung
Die kompakte Brenner-Wäscher-Kombination von DAS Environmental Experts basiert auf jahrzehntelanger Erfahrung in der Abgasreinigung. In einem ringförmigen Brenner werden Prozessabgase je nach Zusammensetzung oxidiert, reduziert oder pyrolysiert. Eine anschließende Nasswäsche kühlt und bindet die entstehenden Verbindungen zuverlässig.
Diese Point-of-Use-Technologie ermöglicht eine sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase – unter anderem mit Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff – und wird weltweit in der Halbleiterindustrie eingesetzt.
Optimieren Sie Ihre Abgasreinigung mit STYRAX
Setzen Sie auf effiziente Brenner-Wäscher- oder Plasma-Wäscher-Technologie für höchste DRE z. B. für CF4, SF6 oder NF3 und geringem Wasserverbrauch.
STYRAX – Technische Daten und Konfigurationsoptionen
STYRAX (burn-wet)
Die Schadstoffe in den Prozessabgasen werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Bei der optimierten Brenner-Wäscher-Technologie der STYRAX erfolgt das Brennen von oben nach unten. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm verhindert die Ablagerung von Feststoffpartikeln an der Reaktorinnenwand und beugt Korrosion vor.
In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von STYRAX im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzeptes ermöglicht somit die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).
