Point-of-Use Abwasseraufbereitung mit OTTELIA

Effiziente Partikelentfernung aus halbleitertechnischem Prozessabwasser

Eine große, rechteckige industrielle Maschine zur Point-of-Use Abwasserbehandlung für die Halbleiterindustrie steht vor einem lila Hintergrund, mit mehreren durchsichtigen Paneelen, die Einblick in die komplexe Technik im Inneren gewähren.

Zu Inhalt springen... OTTELIA

OTTELIA: Innovative Abwasserbehandlung für saubere Produktionsprozesse

Effizient. Zuverlässig. Rein.

OTTELIA ist eine innovative Lösung zur Entfernung von Siliziumdioxid-Partikeln (SiO2) aus Prozessabwässern – insbesondere aus nasschemischen Reinigungs- und Ätzprozessen in der Halbleiterfertigung.

Die Anlage entfernt selbst feinste Partikel zuverlässig aus dem Abwasser und schafft damit die Voraussetzung für eine sichere Rückführung des behandelten Wassers zur Wiederverwendung in der Abgasreinigung.

Wie ihr pflanzliches Vorbild steht auch die tropische Wasserpflanze Ottelia für Reinheit, Anpassungsfähigkeit und die natürliche Fähigkeit, Wasser zu klären. Mit ihren untergetauchten Blättern trägt sie in der Natur zur Selbstreinigung von Gewässern bei – ein Prinzip, das OTTELIA technologisch aufgreift. Der Name symbolisiert daher den Anspruch, Wasser auf intelligente und nachhaltige Weise wieder in den Kreislauf zurückzuführen.

Eine ruhige Unterwasserszene zeigt üppige grüne Wasserpflanzen und kleine weiße Blüten in einem klaren, natürlichen Teich.

Ressourceneffiziente Abwasserbehandlung für eine saubere Zukunft

OTTELIA vereint kompakte Bauweise, hohe Trennleistung und individuelle Skalierbarkeit – für maximale Effizienz und Ressourcenschonung.

Technologie, die überzeugt

Im mehrstufigen Reinigungsprozess werden zunächst Partikel >15 μm im Lamellenschrägklärer effizient abgeschieden. Anschließend entfernt ein Feinfiltersystem kleinere Restpartikel. Das aufbereitete Wasser kann direkt wieder dem Abatement zugeführt werden – für eine nachhaltige Kreislaufführung im Produktionsprozess. Die Feststoffe werden sicher im Schlammtank gesammelt und der Entsorgung zugeführt.

Skalierbar. Vormontiert. Betriebsbereit.

Das Tankvolumen von OTTELIA lässt sich flexibel an verschiedene Wassermengen anpassen – für maximale Prozesssicherheit bei unterschiedlichsten Anwendungen.

Die Anlage wird am DAS-Standort vormontiert, qualitätsgeprüft und als Plug-and-Play-System direkt beim Kunden installiert: schnell, zuverlässig und wirtschaftlich.

Höchste Effizienz für Ihre Abwasserbehandlung

Profitieren Sie von:

Anpassbar auf unterschiedliche Volumenströme und Partikelgrößen
Kompakte Plug-and-Play-Einheit
Hohe Systemeffizienz ermöglicht direkte Wasserwiederverwendung
Garantierte Prozesssicherheit
Integrierte Steuerungs- und Messtechnik
Verringerter Frischwasserverbrauch und reduzierte Abwassermenge
Beitrag zu nachhaltigem Wassermanagement in der Halbleiterproduktion

Ein Mann und eine Frau betrachten in einem modernen Büro bei gedämpfter Beleuchtung gemeinsam Pläne auf einem Tisch.

OTTELIA im Überblick

Produktübersicht

Das Bild zeigt eine moderne, freistehende Point-of-Use Abwasserbehandlungsanlage von OTTELIA, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird, mit einem transparenten Gehäuse, das Einblick in die komplexen mechanischen und elektronischen Komponenten bietet.

Passgenaue Kombinationen für sauberes Wasser

OTTELIA basiert auf einer intelligenten Kombination aus Sedimentation und Filtration, die auf die jeweilige Abwasserzusammensetzung abgestimmt wird. Abhängig von der Partikelgröße und den Prozessparametern kommen folgende Verfahren bzw. Anlagenkomponenten zum Einsatz:

Misch- und Ausgleichsbehälter
Lamellenschrägklärer mit Klarwasserüberlauf für effektive Feststoffsedimentation
Schlammtank & Abwassertank
Pumpen und präzise Messtechnik
Schaltschrank & Netzwerk-Switch zur Integration in das Leitsystem
Flexible, redundante Filterlösungen wie:
Kartuschenfilter, Kerzenfilter, Beutelfilter, Membranfilter
Optional: Polymerdosierung

Funktionsprinzip der Abwasserreinigung mit OTTELIA

OTTELIA besteht aus hochwertigen, prozesssicher integrierten Komponenten, basierend auf einer intelligenten Kombination aus Sedimentation und Filtration. Im mehrstufigen Reinigungsprozess werden zunächst Partikel >15 µm im Lamellenschrägklärer effizient abgeschieden. Anschließend entfernt ein Feinfiltersystem kleinere Restpartikel. Das aufbereitete Wasser kann direkt wieder dem Abatement zugeführt werden – für eine nachhaltige Kreislaufführung im Produktionsprozess. Die Feststoffe werden anschließend sicher im Schlammtank gesammelt und der Entsorgung zugeführt.

Das Abwasserbehandlungssystem OTTELIA ist darauf ausgelegt, sich individuell auf die Bedürfnisse unserer Kunden sowie die jeweilige Abwasserzusammensetzung anzupassen. Alle Anlagenmodule – einschließlich des Tankvolumens – sind skalierbar und auf unterschiedliche Abwassermengen optimierbar. Damit lässt sich OTTELIA flexibel an diversen globalen Produktionsstandorten einsetzen und kann schnell, sicher und kosteneffizient als Plug-and-Play-System vor Ort installiert werden.

Maschinen zur Partikelentfernung und Wasseraufbereitung stehen nebeneinander, wobei detaillierte Beschriftungen den Prozess der Partikelentfernung und Wasserrecycling veranschaulichen.

Flexibel integrierbar & stark in der Wasserwiederverwendung

OTTELIA ist flexibel integrierbar – sowohl hinter DAS-Abgasbehandlungsanlagen wie UPTIMIUM oder EDC PLUS als auch hinter Abatements anderer Hersteller. Sie ermöglicht zudem eine nahezu vollständige Wiederverwendung des anfallenden Abatement-Abwassers. Die feinen SiO₂-Partikel werden zuverlässig entfernt, sodass sie eine nahezu vollständige Wiederverwendung des anfallenden Abatement-Abwassers ermöglicht.

Das Ergebnis: Deutlich reduzierter Frischwasserbedarf und damit Senkung der Betriebskosten, Unterstützung bei der Erfüllung unternehmensweiter ESG-Ziele durch nachhaltigeres Wassermanagement.