Ganzheitliche Lösungen für Abgas- und Wasserbehandlung in der Halbleiterindustrie
Seit über 30 Jahren sind wir bei DAS EE Spezialisten für Point-of-Use-Entsorgungstechnologie. Unsere Kunden*innen schätzen sowohl unser umfangreiches Know-how in der Entsorgung von Prozessabgasen als auch unsere Expertise für die komplette Wasserbehandlung.
Schutz für Mensch, Umwelt und Produktion – mit Point-of-Use-Abgasreinigung von DAS EE
In der hochtechnisierten Halbleiterproduktion entstehen in zahlreichen Prozessen – etwa beim Reinigen der Wafer sowie in Ätz-, CVD- und Epitaxie-Verfahren – Prozessabgase und Abwässer, die umweltrelevante und sicherheitskritische Stoffe enthalten. Viele dieser Gase sind giftig, brennbar oder wirken als Treibhausgase. Werden sie ungefiltert in zentrale Abgassysteme geleitet, drohen Ablagerungen, explosionsfähige Gemische und Produktionsausfälle.
DAS Environmental Experts bietet hierfür maßgeschneiderte, sichere und effiziente Lösungen: Unsere Point-of-Use-Abgasreinigungssysteme – wie Brenner/Wäscher-Systeme, Wäscher und elektrostatische Filter – entfernen Schadstoffe direkt am Entstehungsort. Das Ergebnis ist ein partikelfreies, ungefährliches Gasgemisch, das unbedenklich über die Abluft abgeführt werden kann. Ergänzend übernehmen wir die Behandlung der im Prozess entstehenden Flüssigkeiten, sodass ein durchgängiges, sicheres Entsorgungskonzept gewährleistet ist.
Im Bereich Wasser- und Abwasserbehandlung entwickeln wir individuelle Konzepte für die Halbleiterindustrie – von der Modernisierung bestehender Systeme bis hin zu schlüsselfertigen Neuanlagen. Unsere Experten planen, bauen und betreiben Point-of-Use-, semizentralisierte und zentralisierte Anlagen, die exakt auf die Anforderungen Ihrer Produktion zugeschnitten sind. Mit über 15 Jahren Erfahrung im Bau industrieller Abwasseranlagen weltweit verfügen wir über ein breites Portfolio an biologischen und chemisch-physikalischen Verfahren, die Schadstoffe zuverlässig unter die gesetzlichen Grenzwerte senken. Alle Systeme sind modular aufgebaut, anschlussfertig konzipiert und erfüllen höchste Anforderungen an Reinheit, Sicherheit und Zuverlässigkeit – damit Hightech-Produktion und Umweltschutz in Ihrer Fab Hand in Hand gehen.
Flexible Point-Of-Use-Lösungen zur Abgasreinigung
Abgasreinigung
Seit 1991 entsorgen Point-of-Use-Anlagen, welche DAS EE in Dresden entwickelt und herstellt, fachgerecht Abgase aus CVD/MOCVD‑, Epitaxy‑, Etch- und Wet Cleaning Prozessen der Halbleiterindustrie. DAS-Anlagen sind faktisch an allen modernen Beschichtungs- und Ätzanlagen der Chipindustrie einsetzbar. Die Abgase werden sicher und umweltgerecht gereinigt, sodass die Abluft die behördlichen Anforderungen erfüllt. Die DAS-Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit deutlich weniger als 1x1 m² Grundfläche.
Gefährliche Prozessgase erfordern modernste Abgaslösungen
In der Halbleiterindustrie kommen verschiedene Prozessgase zum Einsatz, die bei fehlerhafter oder mangelnder Behandlung nicht selten ein Risiko für die Produktionsstätte, Mitarbeiter und Umwelt darstellen. DAS-Lösungen arbeiten effizient, voll automatisiert und sensorgesteuert für beste Reinigungsergebnisse. Einen Überblick über die vielfältigen Produktionsverfahren und die dabei entstehenden Abgase finden Sie auf unserer Seite Industrieprozesse.
Von der Abwasserentsorgung zur Wertstoff-Rückgewinnung
In der Halbleiterindustrie entstehen Abwässer aus unterschiedlichen Produktions- und Reinigungsprozessen sowie aus der nachgeschalteten Abgasreinigung. Wir bei DAS Environmental Experts sind spezialisiert auf die Behandlung dieser komplexen Abwässer. Ob Sie eine bestehende Anlage modernisieren oder ein neues Abwasserbehandlungssystem planen – unsere Experten entwickeln gemeinsam mit Ihnen eine maßgeschneiderte Lösung, die Ihre individuellen Anforderungen erfüllt und höchste Effizienz sicherstellt.
Dabei berücksichtigen wir Ihre spezifischen Gegebenheiten und bieten zentralisierte, semizentralisierte sowie Point-of-Use-Systeme an. Dieser flexible Ansatz ermöglicht es, Technologie, Standort und Anlagengröße optimal auf Ihre Bedürfnisse abzustimmen. Durch den modularen Aufbau unserer Systemkomponenten können unsere DAS-Abwasseranlagen weitestgehend vorgefertigt und montagefreundlich an ihren Einsatzort geliefert werden – für eine schnelle, sichere und nachhaltige Implementierung.
Unser Portfolio für die Halbleiterindustrie beinhaltet u. a.
Entfernung von organischen Verunreinigungen, gemessen als chemischer Sauerstoffbedarf (CSB) und biochemischer Sauerstoffbedarf (BSB), aus Abwässern
Entfernung von Schwermetallen oder anderen toxischen Verbindungen
Behandlung von chemisch-mechanischen Polier-/Planarisierungsabwasser (CMP)
Behandlung von Siliziumabfällen
Behandlung und Polieren von flurid- und arsenhaltigem Abwasser
Behandlung von Isopropanol (IPA) oder anderen flüchtigen
organischen Verbindungen (VOCs)Wiederverwendung von behandeltem Abwasser (Wasserrecycling)
Rückgewinnung und Recycling von Wertmetallen aus
Abwässern
Beispiel einer zentralisierten, biologischen Abwasserbehandlungsanlage für die Halbleiterindustrie
Fallstudie
Halbleiterhersteller produzieren umweltfreundlich durch kombinierte Abgas- und Abwasserbehandlung
Kombinierte Abgas- und Abwasserbehandlung
Seit über 30 Jahren entwickelt DAS Environmental Expert innovative Systeme, die Abgas- und Abwasserbehandlung zu einem geschlossenen, nachhaltigen Prozess verbinden. Unsere Technologien reinigen Prozessabgase direkt am Entstehungsort, bereiten das entstehende Abwasser auf und ermöglichen dessen Wiederverwendung. So leisten wir einen wichtigen Beitrag zur ökologischen Nachhaltigkeit in der Halbleiterproduktion – von der Emissionsminderung bis zur Ressourcengewinnung.
PFAS – Herausforderung für die Halbleiterindustrie
DAS EE entwickelt fortschrittliche Lösungen für die Abgas- und Wasseraufbereitung, um die Halbleiterindustrie bei der sicheren und nachhaltigen Entsorgung von PFAS zu unterstützen.
Ziele für nachhaltige Entwicklung
Ihr Ansprechpartner für alle Themen im Bereich der Halbleiterindustrie
Für maßgeschneiderte Systeme zur sicheren Abgas- und Abwasserbehandlung in der Halbleiterfertigung.
Director Sales Global
