
Effiziente Abgasreinigung für die LED Industrie
Sichere LED-Produktion mit DAS-Anlagen
Bei der LED-Herstellung werden große Mengen Ammoniak und Wasserstoff als Prozessgase verwendet. Die Umweltingenieure von DAS EE haben diesen Trend erkannt und innovative, umweltfreundliche Lösungen für die Gasaufbereitung entwickelt. Die LED-Branche ist einer der am schnellsten wachsenden Hightech-Märkte und expandiert von der Hintergrundbeleuchtung von Displays hin zur allgemeinen Beleuchtung. Mit diesem Wachstum gehen höhere Emissionen einher, die eine effektive Abgasaufbereitung erfordern. DAS EE erfüllt diese Anforderungen mit fortschrittlichen Systemen wie LARCH für MOCVD-Prozesse.

Efficient Treatment of Hydrogen and Ammonia
Die Umweltexperten von DAS EE haben LARCH entwickelt, ein Abgasbehandlungssystem für MOCVD-Prozesse. Es verarbeitet große Mengen an Wasserstoff und Ammoniak sowie kleinere Mengen an metallorganischen Verbindungen und Dotierstoffen, die typischerweise bei der LED-Produktion anfallen.
Das System arbeitet in drei Stufen: Zunächst wird Ammoniak in einer speziellen Zersetzungszone zersetzt, anschließend wird Wasserstoff gezündet und oxidiert und schließlich werden die Gase über einen Wärmetauscher gekühlt.
Dank der DAS-Technologie kann das gereinigte Gas sicher in die Umwelt abgegeben werden. Sensoren und redundante Sicherheitssysteme gewährleisten einen stabilen Betrieb. LARCH erreicht niedrige Emissionswerte und ersetzt die herkömmliche Nasswäsche, wodurch es eine umweltfreundlichere und effizientere Lösung darstellt.
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