Innovative Abgaslösungen für die MEMS-Produktion

Für Zukunftstechnologien wie Industrie 4.0, selbstfahrende Automobile oder das Internet der Dinge („Internet of Things“ – IoT) sind MEMS-Bauteile von grundlegender Bedeutung, weil sie Bindeglied sind zwischen der analogen Welt und der digitalen Datenverarbeitung. Entsprechend stark wachsen derzeit die Märkte und Marktanteile von MEMS. So sind diese Bauelemente schon heute sehr gefragt im Automotive-Bereich, wo sie dazu beitragen, Fahrkomfort und Sicherheit zu verbessern.

Auch beispielsweise zum Einsatz in der Automatisierungstechnik werden steigende Stückzahlen gefertigt. Bei der Herstellung von MEMS ergänzen die Abgasreinigungsanlagen der DAS Environmental Expert GmbH wirkungsvoll die eigentliche Produktionstechnik. Egal, welches Equipment Sie einsetzen und mit welchen Verfahren Sie fertigen – unsere Entsorgungstechnik entfernt gefährliche Substanzen direkt am Ort ihrer Entstehung („Point-of-Use“) aus dem Abgasstrom.

Zur Produktion von MEMS werden Verfahren eingesetzt, wie sie auch sonst in der Halbleiterindustrie üblich sind. Insbesondere Mikrosysteme auf einem Chip werden mit normalen Technologien der Mikroelektronik gefertigt, ergänzt durch einige wenige spezielle Verfahrensschritte. Die DAS Environmental Expert GmbH entwickelt, produziert und installiert bereits seit ihrer Gründung in den 90er Jahren maßgeschneiderte Abgas-Entsorgungstechnik für die Halbleiterfertigung. Selbstverständlich übernehmen wir auf Wunsch unserer Kunden auch die Betreuung und Wartung unserer Anlagen.

Von den verschiedenen Möglichkeiten, dünne Schichten abzuscheiden, ob reaktives Sputtern, ALD oder CVD/PECVD, über diverse Technologien für das Ätzen und Strukturieren bis hin zum Wafer Cleaning – wir bieten Ihnen für alle Arbeitsschritte die passenden Anlagen zur Abgasreinigung an. Unsere Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Aufgrund ihrer kleinen Grundfläche – in der Regel passen unsere Anlagen in einen Schrank und benötigen weniger als einen Quadratmeter Stellfläche – ist es möglich, die Entsorgungstechnik von DAS EE  direkt neben dem Produktionsequipment zu installieren.

Die Entsorgung gefährlicher Gase und Gasgemische erfolgt somit sicher und zuverlässig direkt am Point-of-Use. Das kann durch den Einsatz von Brenner/Wäscher-Systemen, separaten Brennern oder Wäschern und mit Hilfe elektrostatischer Filter erreicht werden. Die von Schadstoffen und Partikeln gereinigten Gase können bedenkenlos über das Abluftsystem in die Umgebung abgegeben werden. Die Abluft aus unseren Anlagen erfüllt die behördlichen Anforderungen.

In unserem Portfolio finden Sie Entsorgungstechnik für alle Prozesse, die zur Produktion von MEMS eingesetzt werden. Unsere Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste Sicherheitsstandards, was auch durch die entsprechenden Zertifikate dokumentiert ist.