Kostenreduzierung bei Silizium-Dünnschicht-Solarzellen-Produktionslinie
Aufgrund des Drucks zur Kostenreduzierung in einer Dünnschicht-Solarzellen-Fertigung wurde der Versuch gestartet, die laufenden Kosten der Abgasentsorgungssysteme zu reduzieren.
Voraussetzung bei der Umsetzung war, dass die DRE (Destruction Removal Efficiency) nicht reduziert wird. Verbesserungen für Wartung und Medienverbräuche wurden vor Ort unter Produktionsbedingungen über einen Zeitraum von sechs Monaten getestet.
Aufbau der Dünnschicht-Solarzellen-Fertigung in Baoding Tianwei
Die a‑Si/μc-Si CVD-Prozess-Tools verwenden große Mengen an SiH4, H2 und NF3 sowie TMB und PH3 als Dotiergase. Die Prozessgase sind pyrophor, explosiv oder schädlich für die Umwelt. Deshalb werden die Prozessabgase durch Brenner/Wäscher – Systeme mit nachgeschaltetem, elektrostatischen Staubabscheider am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) entsorgt. Jeden Tag werden etwa 100 kg SiO2 Staub und 180 kg HF erzeugt und in den Abgasentsorgungssystemen behandelt. Die Abgase aus den TCO-Tools enthalten DEZ, ZnO-Partikel und Kohlenwasserstoffe. Jedes TCO-Tool ist mit einem Brenner/Wäscher- Abgasentsorgungssystem verbunden, welches die brennbaren Verbindungen oxidiert und Partikel abscheidet.
Kostenreduzierung bei der Wartung: Hauptursachen und erzielte Verbesserungen
KAI – Abgasbehandlung mit GIANT/EDC
Partikelablagerungen im Reaktor und in den Anschlussleitungen zum elektrostatischen Staubabscheider
Ablagerungen im Reaktor waren viel geringer als erwartet → Wartungsintervall wurde verlängert
Zusätzlicher selbstreinigender und wartungsfreier Vorfilter vor der Anschlussleitung → keine Wartung der Anschlussleitung mehr erforderlich
Sedimentation der Partikel im Kreislaufbehälter → wird durch erhöhten Durchfluss/Rühren der Waschflüssigkeit verhindert
Salzkrustenbildung stellte sich als Hauptursache für Ausfälle heraus → komplett beseitigt durch kleine Änderungen im Tank
ESCAPE – Wartungsintervalle vor Beginn des Tests gleichen denen der TCO-Tools
Maßnahme: Verlängerung der Wartungsintervalle
Ergebnis: keine negativen Auswirkungen auf die Verfügbarkeit der Anlage
Betriebskosten-Einsparungen an Point-of-Use Abgasentsorgungssystemen
Betriebskosten-Einsparungen an Point-of-Use Abgasentsorgungssystemen
Abgasentsorgungssystem GIANT
Optimierung des pH-Regimes → Reduzierung des Laugeverbrauchs
Vermeidung von Sedimentation und verbesserte Filtration der Waschflüssigkeit → höhere Konzentration von Partikeln in der Flüssigkeit möglich, Wassereinsparung
Abgasentsorgungssystem ESCAPE
Reduzierter Wasserverbrauch → keine negativen Auswirkungen
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