半導体産業向け排ガス・排水処理のトータルソリューション

最先端の半導体製造では、ウェハ洗浄、エッチング、CVD、エピタキシーなどの各種プロセスにおいて、環境や安全面で配慮が必要な物質を含むプロセス排ガスおよび排水が発生します。
これらのガスの多くは、有毒性や可燃性を持ち、温室効果ガスとしての性質を有するものも含まれます。
未処理のまま中央排気システムに導入すると、配管内の堆積、爆発性混合物の生成、生産停止といった重大なリスクにつながります。

DAS Environmental Expertsは、安全かつ高効率な排ガス・排水処理を可能にするオーダーメイドのソリューションを提供しています。バーナー／スクラバーシステム、スクラバー、静電フィルターなどの point-of-use 型 gas treatment systems により、汚染物質を発生源で確実に除去します。

処理後のガスは粒子を含まない無害な状態となり、排気として安全に放出されます。
また、プロセスにおいて発生する液体についても適切な処理を行い、一貫性のある安全な廃棄コンセプトを提供します。

水処理および廃水処理分野において、当社は半導体産業向けに個別コンセプトを開発しており、既存システムの近代化からターンキー方式による新規プラント建設まで対応しています。当社の専門家がお客様の生産要件に合わせて、現場設置型、準集中型、集中型のプラントを計画、建設、運営します。当社は、世界中の産業排水処理プラント建設において15年以上の実績があり、生物学的・化学物理的プロセスを幅広く取り揃えています。これらのプロセスは、汚染物質を確実に法定基準以下に低減します。また、すべてのシステムはモジュール設計されており、接続準備が整っています。最高水準の純度・安全性・信頼性を満たすことで、貴社の工場においてハイテク生産と環境保護を両立できます。

• 排水中の有機汚染物質（COD・BOD）の除去

• 重金属および有害物質の除去

• CMP（化学機械研磨）排水の処理

• シリコン廃棄物の処理