排ガス処理用 燃焼・湿式スクラバーシステム
燃焼と湿式洗浄の2つの処理を最小限のスペースで組み合わせることで、設置場所で安全に排ガスを処理できます。
半導体産業における排ガス処理
燃焼・湿式技術は、DASのさまざまな排ガス除害システムに採用されており、危険で有害な排ガスを幅広く処理します。半導体産業では、フッ素化合物、アンモニア、シラン、そして水素などが使用されます。DASのコンパクトなソリューションは、省スペース設計でメンテナンスも容易。さらに、プロセスツールとのインターフェースにより、運用コストと安全性を最適化できます。
ESCAPE – プロセス排ガス処理の基本システム
ESCAPE製品ラインは、25年以上にわたり市場で実績を持つ、設置場所での燃焼・湿式スクラバー技術の基盤です。ガススクラバー（燃焼／湿式）は、半導体産業や太陽光発電産業におけるほぼすべてのプロセス排ガスの除害に対応し、柔軟でカスタマイズ可能なソリューションを提供します。メディア供給も可変で、さまざまな運用条件に適応可能です。
STYRAX – 高度なCVDプロセス排ガス処理システム
STYRAX製品ファミリーは、半導体や太陽光発電産業におけるCVDプロセスなど、要求の厳しい排ガス処理に対応するために開発されました。システムは燃焼・湿式タイプまたはプラズマ・湿式タイプから選択でき、当社のアプリケーションスペシャリストが顧客の要件に合わせて構成します。これにより、メディア消費量を柔軟に調整することが可能です。
TILIA – 内部冗長性を備えたデュアルリアクターシステム
TILIAは、半導体産業や太陽光発電産業で使用される自然発火性ガス、フッ素系ガス、有毒ガスを安全に処理するためのコンパクトなソリューションです。燃焼と湿式洗浄を組み合わせることで、最大限の分離効率を実現します。TILIAが従来の複数の排ガス処理システムをどのように置き換えられるかをご確認ください。
UPTIMUM – 高い装置稼働率を実現する最適化排ガス処理システム
UPTIMUM製品ラインは、特に半導体や太陽光発電産業のCVDプロセスにおいて、装置の稼働率を高めるために設計されています。製品名「UPTIMUM」は「Uptime」に由来し、燃焼・湿式システムの高い可用性を強調しています。このツールは、さまざまな用途に柔軟に適用可能です。
