최고 수준 오염 저감 시스템, DAS EE SEMI SCC 온실가스 기준 초과 달성
DAS Environmental Expert GmbH는 지속 가능한 반도체 배출 관리 분야에서의 선도적 위치를 재확인했습니다. 독립 검증 결과, 당사의 TILIA 오염 저감 시스템은 CF₄ 및 기타 플루오린계 온실가스에 대해 99.9% 이상의 파괴·제거 효율 (DRE)을 달성하며, SEMI SCC 벤치마크를 뛰어넘는 성능을 입증했습니다.
최고 수준의 오염 저감 시스템: DAS EE, SEMI SCC 온실가스 벤치마크 초과 달성
DAS Environmental Expert GmbH는 지속 가능한 반도체 배출 관리 분야에서의 선도적 위치를 재확인했습니다. 독립 검증 결과, 당사의 TILIA 오염 저감 시스템은 CF₄ 및 기타 플루오린계 온실가스에 대해 99.9% 이상의 파괴·제거 효율(DRE)을 달성했습니다.
이 성과는 2024년 SEMI SCC 백서 "F‑GHG 및 아산화질소 반도체 저감 기술 개요" 에서 정의한 목표를 능가하는 수준으로, 해당 백서는 업계 기준을 최소 DRE 95%, 향후 목표 DRE 99%로 설정하고 있습니다. TILIA 시스템은 더 높은 효율 달성이 기술적으로 가능할 뿐 아니라, 실제 지속 가능성과 경제적 이점도 제공함을 입증합니다.
“TILIA와 같은 시스템은 단순히 기술적으로 가능한 것을 넘어, 현 업계 기준을 초과하는 것이 경제적으로도 합리적임을 입증합니다.”라고 DAS Environmental Expert GmbH 폐가스 처리 사업부의 Chief Operating Officer (COO) Stephan Raithel은 말합니다. “탄소세 상승과 강화되는 지속 가능성 목표 속에서, 고효율 저감 장치에 대한 투자는 곧바로 운영적 & 재무적 이점으로 이어집니다.”
전 세계 반도체 산업은 매년 수천 톤의 CF₄를 배출하며, 이 가스의 지구온난화지수 (GWP)는 7,390에 달합니다. 현재 업계에서는 주로 SEMI SCC 권고 최소 DRE 수준을 달성하는 것을 목표로 하고 있지만, 항상 99.9% 이상의 효율로 작동하는 저감 시스템만이 산업 전반의 Net-Zero 목표 달성을 가능하게 합니다.
SEMI SCC 백서는 이러한 초고효율 달성이 반도체 산업의 지속 가능성 로드맵에서 필수적이며, 차세대 저감 기술의 광범위한 도입이 필요하다고 강조합니다. TILIA 시스템을 통해 DAS Environmental Experts는 새로운 업계 기준을 제시하며, 검증된 “Best in Class” 성능을 제공함으로써 전 세계 반도체 제조업체가 온실가스 배출량을 획기적으로 줄일 수 있도록 지원합니다.
