실리콘 박막 태양전지 대량생산 라인 비용 절감
박막 태양전지 생산 라인에서 운영 비용 절감 압력에 대응하기 위해, 폐가스 처리 시스템의 운영 비용 절감 방안이 추진되었습니다.
단, 폐가스 제거 효율 (DRE, Destruction Removal Efficiency)은 감소하지 않아야 한다는 조건이 있었습니다. 이에 따라 유지보수와 처리 매체 사용량 개선을 목표로, 6개월 동안 실제 생산 환경에서 개선안이 테스트되었습니다.
Baoding Tianwei 박막 태양전지 생산 라인 개요
Baoding Tianwei의 a‑Si/μc‑Si CVD 공정 장비는 SiH₄, H₂, NF₃, TMB, PH₃ 등의 도핑 가스를 다량으로 사용합니다. 이들 공정 가스는 발화성, 폭발성, 환경 유해성을 지니고 있어, 폐가스는 연소 처리 및 Wet Scrubber와 습식 전기집진기를 통해 안전하게 처리됩니다.
일일 배출량으로는 약 100 kg의 SiO₂ 먼지와 180 kg의 HF가 발생하며, 모두 처리 시스템에서 포집됩니다. TCO 장비에서 발생하는 폐가스는 DEZ, ZnO 입자, 탄화수소를 포함하며, 각 장비는 연소/습식 폐가스 처리 시스템에 연결되어, 가연성 성분을 산화시키고 입자를 안전하게 포집합니다.
비용 절감 및 유지보수 개선 사례
KAI — GIANT/EDC 폐가스 처리 시스템
반응기 및 전기집진기 연결 배관 내 입자 퇴적
연결 배관에 셀프클리닝 및 유지보수 불필요한 프리필터 추가 → 배관 유지보수 필요 없음
세정액 순환 / 교반 강화 → 회로탱크 내 입자 침전 방지
회로탱크 내 입자 침전 → 세정액의 순환 및 교반을 강화하여 침전 방지
소금 스케일링 발생 → 탱크 구조 일부를 소규모로 변경하여 문제 완전히 제거
ESCAPE 시스템 유지보수 개선 사례
유지보수 주기: 테스트 시작 전 TCO 장비와 동일
점검 결과: 유지보수 시 입자 퇴적 거의 없음
조치: 유지보수 주기 연장
결과: 설비 가동률에 부정적 영향 없음
PoU 폐가스 처리 – 유틸리티 절감
GIANT 폐가스 처리 시스템
pH 조절 최적화 → 가성소다 사용량 감소
세정액 침전 방지 및 여과 성능 개선 → 세정액 내 입자 농도 증가 가능, 물 사용량 감소
ESCAPE 폐가스 처리 시스템
물 사용량 감소 → 설비 성능 및 가동률에 부정적 영향 없음
폐가스 처리에 관한 문의
안전하고 효율적인 폐가스 처리를 위해 맞춤형 처리 시스템을 제공합니다.
