DAS, SEMI 온실가스(GHG) 벤치마크 초과 달성
DAS TILIA, 온실가스 99.9% 이상 제거 효율 달성
TILIA, 99.9% 이상의 제거 효율로 SEMI 벤치마크 초과 달성
DAS Environmental Experts 는 독립적인 성능 검증을 통해 자사의 TILIA 폐가스 저감 시스템이 CF₄ 및 기타 불소계 온실가스에 대해 99.9% 이상의 파괴·제거 효율 (DRE, Destruction and Removal Efficiency)을 달성함을 입증하며, 지속가능한 반도체 배출가스 제어 분야의 리더십을 다시 한번 확인했습니다.
이 성능은 2024 SEMI SCC 백서 "F-GHG 및 아산화질소 반도체 배출가스 저감 기술 개요"에서 제시한 기준을 크게 상회하는 수치입니다. 해당 백서는 최소 DRE 95% 이상, 권장 목표 99% 이상을 새로운 산업 표준으로 제시하고 있습니다.
TILIA는 이러한 기준을 넘어, 더 높은 효율이 기술적으로 충분히 가능할 뿐만 아니라 실질적인 지속가능성과 경제적 이점까지 제공할 수 있음을 입증하고 있습니다.
새로운 기준을 제시하다: Net-Zero 배출을 향한 길
“TILIA와 같은 시스템은 현재 업계 기준을 초과 달성하는 것이 기술적으로 가능할 뿐 아니라, 경제적으로도 충분히 합리적인 선택임을 보여줍니다.” DAS Environmental Experts 폐가스 처리 부문 최고운영책임자 (COO) Stephan Raithel은 이렇게 말합니다.
“탄소세 인상과 강화되는 지속가능성 목표에 대응하기 위해 고효율 배출가스 저감 기술에 투자하는 것은 곧 운영 효율과 재무 성과 개선으로 직결됩니다.”
전 세계 반도체 산업은 매년 수천 톤의 CF₄를 배출하고 있습니다. CF₄는 지구온난화지수 7,390에 달하는 강력한 온실가스로, 환경에 미치는 영향이 매우 큽니다.
현재 업계는 주로 SCC가 권장하는 최소 DRE 기준을 충족하는 데 집중하고 있으나, 산업 전반의 넷제로 목표 달성을 위해서는 99.9% 이상의 초고효율 저감 성능을 안정적으로 구현하는 시스템이 필수적입니다.
SEMI SCC 백서 또한 이러한 초고효율 달성이 반도체 산업의 지속가능성 로드맵 실현에 핵심 요소임을 강조하며, 차세대 배출가스 저감 기술의 폭넓은 도입을 요구하고 있습니다.
TILIA와 함께 DAS Environmental Experts는 검증된 ‘Best-in-Class’ 성능으로 새로운 산업 표준을 제시하며, 전 세계 반도체 제조사가 온실가스 배출을 획기적으로 줄일 수 있도록 지원하고 있습니다.
