TFT 산업을 위한 신뢰할 수 있는 폐가스 처리
DAS 폐가스 처리 시스템으로 안전한 TFT 생산
TFT/LCD 산업의 생산 공정에서 발생하는 폐가스에는 SiH₄, NH₃, N₂O등 공정 가스 잔류물이 포함됩니다. 이들 물질 중 일부는 강한 부식성, 독성 또는 높은 인화성을 가지므로, 사용 지점(Point-of-Use)에서 처리해야 합니다. DAS는 이러한 특정 폐가스 처리 문제에 대해 고객에게 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
TFT/LCD 디스플레이 제조에서는 폐가스 처리가 필수입니다. 예를 들어, 글라스 기판 위에 대규모 Thin-Film Transistor(TFT)를 증착하는 공정에서는 CVD기술을 사용하여 얇은 막을 기판 위에 형성합니다.
이 공정에서는 공정 챔버를 주기적으로 세척해야 하며, 일반적으로 NF₃를 이용한 에칭이 수행됩니다. 분리된 박막의 에칭에는 주로 CF₄, SF₆ 및 염소계 가스가 사용되며, 이 과정에서 다량의 폐가스 혼합물이 발생합니다. 이러한 폐가스는 Burn/wet 시스템이나 정전식 필터로 처리할 수 있습니다.
DAS Environmental Experts가 설계한 시스템은 폐가스를 발생 지점(Point of Use)에서 직접 처리하며, 유해 물질을 신뢰성 있게 저감합니다. DAS는 TFT/LCD 산업을 위해 대용량 폐가스를 안전하게 처리하고, 법적 기준을 충족하는 맞춤 솔루션을 개발하였습니다.
위험 폐가스의 안전한 처리
TFT/LCD 산업의 생산 공정에서 발생하는 폐가스에는 SiH₄, NH₃, N₂O등 공정 가스 잔류물이 포함됩니다. 이러한 폐가스는 환경뿐만 아니라 생산 설비의 안전에도 큰 위험을 초래합니다. 공장 중앙 폐가스 시스템에서 서로 다른 폐가스를 혼합하면, 고도로 인화성 또는 폭발성 가스 혼합물이 생성될 수 있어 심각한 안전 위험을 초래하므로 항상 이를 방지해야 합니다. 또한, 부식성 가스는 펌프, 밸브, 배관의 부식을 가속화하여 설비 안전성을 저해하며, 폐가스 내 미세 입자는 배관 내부에 침착되어 막힘을 발생시켜 유지보수 비용을 증가시키거나 생산을 완전히 중단시키는 원인이 됩니다.
DAS 폐가스 저감 기술은 유연하고 통합적인 시스템 컨셉을 기반으로 합니다. 가장 작은 장비는 1㎡ 미만의 공간에도 설치 가능하며, 완전 자동화 및 센서 제어 시스템으로 운전되어 최고 수준의 인증 안전 기준을 충족합니다.
폐수 처리에 관한 문의
TFT 산업에서 안전한 폐가스 처리를 위한 맞춤형 처리 솔루션을 제공합니다.
