반도체 제조 공정의 PFAS
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반도체 제조 공정의 PFAS
반도체 산업에서는 per- and polyfluoroalkyl substances (PFAS) 물질을 다루는 데 있어 큰 과제에 직면하고 있습니다. 이 물질들은 온도와 화학적 내성이 뛰어난 특성 덕분에, 특히 에칭 및 세정 공정, 그리고 멤브레인과 필터 구성 요소 등 반도체 제조의 다양한 분야에서 필수적으로 사용됩니다.
PFAS에 대한 집중 조명
PFAS는 그 특성으로 인해 점점 더 규제 당국의 주목을 받고 있습니다. 이들 화학물질 중 다수는 독성이 있으며, 암과 불임을 유발하고 면역 체계를 약화시킬 수 있습니다. 게다가 탄소-불소 결합이 매우 안정적이어서 자연적으로 분해되지 않습니다.
PFAS 규제 및 처리 기술
유럽화학청(ECHA)은 유럽경제지역 내 PFAS 전면 금지를 제안했습니다. 또한 미국의 여러 주에서는 PFAS가 포함된 다양한 소비재와 산업용 제품에 대한 금지 및 제한을 시행 중이거나 계획하고 있습니다.
일본 역시 2025년 1월부터 138종의 PFAS 화학물질의 제조, 수입, 사용 금지를 시행할 예정입니다.
전 세계적으로는 스톡홀름협약에서 여러 PFAS를 퇴출 또는 사용 제한 대상으로 지정했으며, 최근에는 장쇄 퍼플루오로카르복실산 (PFCA)에 대한 금지가 확정되어 2026년 1월부터 모든 회원국에서 시행될 예정입니다.
