Point-Of-Use 입자 여과 및 수처리 재활용 솔루션
첨단 산업 공정에서 미세 입자 및 금속 산화물 제거를 위한 공간 효율적·고성능 입자 여과 시스템
Membrane 기술을 통한 수처리 재활용 솔루션
마이크로칩 제조 과정에서는 일부 공정에서 유해 가스와 화학물질이 발생하며, 이를 사용 지점 (Point-of-Use)에서 즉시 처리해야 합니다. 각 공정 장비 뒤의 배기관은 유해 가스를 폐가스 처리 시스템으로 연결하며, 이러한 시스템은 일반적으로 서브팹 (subfab) 내 진공펌프 및 설비와 함께 설치됩니다. 폐가스 처리 방식으로는 가스 연소, 세정, 또는 가스 특성과 양에 따라 세정만 수행하는 방법이 있습니다. 처리 과정에서 발생한 폐수는 보통 중앙 폐수 처리장으로 이동합니다.
최근 시장에서는 폐수 재활용 및 재사용에 대한 수요가 크게 증가하고 있습니다. DAS Environmental Experts는 이에 대응해 폐가스 및 폐수 처리 전문가들이 설계한 스마트 Point-of-Use 수처리 시스템을 개발했습니다. 이 시스템은 폐수 속 금속 산화물 등 고형 입자를 필터링하여 폐가스 처리 시스템으로 재순환할 수 있으며, 최대 90%까지 폐수 재활용이 가능합니다.
사용된 Membrane 기술은 유지보수가 적고 투자 대비 빠른 회수 효과를 제공하며, 반도체 제조사의 ESG 목표 달성에도 기여합니다.
DAS 솔루션의 장점
신규 수자원 사용 최소화
폐수 발생 최소화
컴팩트한 설계 (물 재활용 시스템 공간 절약)
DAS 폐가스 처리 시스템과 원활한 연동
일반 정보
적용 대상: 미세먼지, Burn-Wet, Wet-scrubber 등 다양한 폐가스 처리 시스템
응용 분야: 미세먼지 및 금속 유기화합물에서 발생하는 금속 산화물
입자 제거 성능: 0.05 μm 이상 입자 제거 가능
폐수 재활용률: 80–90% (염도에 따라 상이)
설치 면적: 최소 1.75 m² (적용 환경에 따라 달라짐)
편리한 물 공급: 처리수 수집 및 필요 시 펌핑 가능
사용 편의성: 터치 패널로 시스템 설정, 모니터링 및 제어 가능
원격 제어: 옵션 제공 가능
폐가스 처리 공정 폐수의 순환 재이용 솔루션
