반도체 산업을 위한 지속가능한 폐수 처리 솔루션
지속가능한 폐수 처리 및 재활용 솔루션은 반도체 제조 기업이 담수 사용량을 줄이고 소중한 수자원을 보호할 수 있도록 지원합니다. 당사는 맞춤형 고효율 처리 설비를 통해 더 깨끗한 수질을 확보하고, 물의 순환 재사용(Closed-Loop Reuse)을 실현합니다.
반도체 산업을 위한 지속가능한 폐수 처리 솔루션
DAS Environmental Experts는 반도체 산업을 위한 맞춤형이면서도 지속가능한 폐수 처리 및 재활용 솔루션을 제공합니다. 고품질 기준과 세심한 프로젝트 관리 역량을 바탕으로 폐수 처리 플랜트를 구축하며, 반도체 생산 과정에서 효율적인 수자원 활용을 가능하게 하는 신뢰할 수 있는 파트너로서 함께합니다.
전 세계적인 물 부족 문제를 고려할 때, 반도체 공장의 수자원 관리는 매우 중요한 과제입니다.
전 세계 물 자원의 약 3%만이 담수이며, 그마저도 상당 부분이 오염과 과도한 사용으로 위협받고 있습니다. 대규모 물 사용 산업인 반도체 산업은 물 사용량을 최적화해야 하는 중요한 도전에 직면해 있습니다.
따라서 혁신적인 폐수 처리 기술과 환경친화적인 반도체 공장용 수처리 시스템은 담수 자원의 부담을 줄이는 데 핵심적인 역할을 합니다.
DAS Environmental Experts는 산업 전반에서 증가하는 깨끗한 물 수요에 대응함과 동시에 지구의 소중한 수자원을 보호할 수 있는 지속가능한 수처리 시스템을 개발하고 있습니다.
반도체 제조 공정에 혁신적인 재이용 기술을 적용하면 신규 용수 사용량을 효과적으로 줄일 수 있으며, 당사의 산업용 폐수 처리 솔루션은 공정 내 물 순환을 가능하게 해 반도체 공장이 물을 보다 지속가능하게 활용하도록 돕습니다.
반도체 산업의 물 관리
실리콘 웨이퍼 위에 마이크로프로세서를 제조하는 반도체 생산 공정은 에너지, 물, 화학물질, 가스 등 막대한 자원을 필요로 하는 고집약형 산업입니다. 그중에서도 물 사용량은 반도체 산업의 지속가능성에 가장 큰 도전 과제 중 하나입니다.
칩 생산에서 웨이퍼는 1,000단계가 넘는 클린룸 공정을 거치며, 각 공정마다 세정 작업이 반복적으로 수행됩니다. 이때 식각 공정에도 활용되는 초순수 (UPW)가 사용되며, UPW 사용 효율은 반도체 제조의 자원 효율성을 좌우하는 핵심 요소입니다.
반도체 생산 과정은 중금속, 산, 용제와 같은 유해 폐기물을 발생시키며, 적절히 처리되지 않을 경우 심각한 환경 오염으로 이어질 수 있습니다. 공정에서 사용된 물은 질산, 황산, 불산, 암모니아, 과산화수소, IPA 등 다양한 화학물질과 칩 제조 단계에서 발생한 미세 입자로 오염됩니다.
따라서 반도체 공장에서의 효율적인 폐수 처리는 필수적이며, 이러한 공정을 최적화하는 것은 마이크로칩 생산의 지속가능성을 강화하고 반도체 산업의 환경적 영향을 줄이는 데 중요한 역할을 합니다.
산업용 폐가스 및 폐수 처리 분야 30여 년의 전문성
DAS Environmental Experts는 30년 이상 산업용 폐가스 및 폐수 처리 분야에 집중해 온 기업으로, 독일 엔지니어링의 정밀함과 품질을 기반으로 한 신뢰성 높은 솔루션을 제공하고 있습니다. 당사의 검증된 모듈형·확장형 시스템은 하이테크 제조업뿐 아니라 식음료, 화학, 제약, 화장품 등 다양한 산업 분야에서 요구되는 폐수 처리 기준을 안정적으로 충족합니다.
프로젝트 수행 과정에서는 고객의 요구 사항을 세밀하게 반영합니다. 폐수의 양과 성분, 에너지와 약품 사용 조건, 설치 공간, 설계 사양은 물론, 재활용·간접 방류·직접 방류를 위한 처리수 품질 기준까지 종합적으로 고려한 최적의 솔루션을 제안합니다. 주요 설비는 드레스덴에서 사전 제작하여 높은 품질과 공정 효율을 확보하고 있습니다.

One-Stop 솔루션
DAS Environmental Experts는 컨설팅 (실험실 분석·파일럿 테스트 포함)부터 설계, 플랜트 제작, 설치·시운전, 운영 최적화, 유지보수까지 폐수 처리의 모든 단계를 아우르는 통합 솔루션을 제공합니다.
다양한 생물학적, 기계적, 화학적 & 물리적 처리 기술을 바탕으로 고객 공정에서 발생하는 오염물질을 효과적으로 제거하여 방류 기준 또는 재활용 품질 수준까지 안정적으로 처리합니다.
당사가 제공하는 주요 처리 범위는 다음과 같습니다:
유기 오염물 제거
중금속 및 독성 물질 제거
CMP (화학적 기계 연마) 폐수 처리
연마 슬러지 (Grinding Residues) 처리
불소·비소 등 특정 유해 물질 함유 폐수 처리
IPA 및 VOC 등 휘발성 유기화합물 처리
처리수 재활용 (수 재이용)
폐수 내 유가금속 회수 및 재사용
반도체 산업의 생물학적 폐수 처리 – MBBR 적용
MBBR (Moving Bed Biofilm Reactor)는 높은 유연성과 처리 효율을 갖춘 생물학적 반응기로, 산업 폐수에 포함된 다양한 유기 오염물질을 효과적으로 제거합니다. 질소와 인 등 영양염류는 물론, COD/BOD/TOC로 표시되는 유기물 제거에서도 우수한 성능을 발휘합니다.
또한 공정이 견고하고 운전이 간편하며 확장성이 뛰어나 반도체 제조 환경처럼 까다로운 고객 요구에도 유연하게 대응할 수 있습니다.
담체를 활용해 매우 긴 슬러지 체류 시간을 확보할 수 있어 난분해성 유기물 처리에도 적합하며, 활성슬러지 공정 대비 과잉 슬러지 발생량이 적어 운영 비용 절감에도 도움이 됩니다.
MBBR 플랜트
식각 폐수용 고도 생물학적 처리 시스템

담체
MBBR에는 특수 미생물이 서식할 수 있는 느슨하게 채워진 플라스틱 담체가 사용됩니다. 이러한 자유 부유 담체는 넓은 표면적을 제공하여 높은 바이오매스 농도를 유지할 수 있습니다.
미생물은 유기성 폐수 성분과 질소 화합물을 분해하며, 폐수 내에서 긴 체류 시간과 성장체 내부의 보호된 공간 덕분에 선택적 특화가 가능해집니다. 그 결과, MBBR 공정은 다른 생물학적 처리 기술에 비해 안정성과 적응성이 뛰어나며, 다양한 폐수 조건에서도 효율적으로 운전할 수 있습니다.
산소 공급 및 혼합
반응기 내부에 공기를 주입하여 미생물이 필요한 산소와 영양분을 공급합니다. 활성슬러지 공정에 비해 고형물 함량이 낮아 산소 공급이 매우 효율적으로 이루어집니다. 또한 공기 주입 과정은 폐수와 담체를 반응기 내에서 균일하게 혼합하는 역할도 수행합니다.
생물막 형성
폐수 내 미생물, 예를 들어 박테리아는 담체 표면에 부착하여 생물막 (Biofilm)을 형성합니다. 이 생물막에는 다양한 미생물이 서식하며, 폐수 내 유기물을 효과적으로 분해할 수 있습니다.
오염물 분해
생물막 내 미생물은 폐수 속 유기물 및 기타 오염물질을 영양원으로 활용하여 분해합니다. 이 과정은 호기성·혐기성 호흡과 질산화/탈질화와 같은 생화학적 반응을 통해 이루어집니다.
정화
미생물이 폐수 속 오염물질을 분해한 후, 정화된 물은 반응기 밖으로 배출됩니다. 대부분의 바이오매스는 반응기 내에 남아 추가 오염물 분해에 재사용될 수 있습니다. 또한 활성슬러지 방식이 아니기 때문에 과잉 슬러지 발생량이 적어 운영 효율을 높일 수 있습니다.
다양한 산업에서 검증된 MBBR 경험
DAS Environmental Experts는 다양한 산업 분야에서 MBBR 공정을 활용한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다. 반도체 산업에서 이 기술을 적용할 경우, 다음과 같은 대표적인 공정 조합을 권장합니다:
혼합·조절조 (Mixing & Balancing Tank): 완충 및 폐수 상태 조절 (pH 조정, 필요한 영양분 첨가, H₂O₂ 촉매 처리)
2대의 호기성 MBBR: COD 분해 및 질산화 (Nitrification) 처리
1대의 무산소 MBBR (Anoxic MBBR): 질산염 (Nitrate) 제거
플로테이션 (Flotation): 고형물 분리
슬러지 프레스 (Sludge Press): 슬러지 탈수

막생물반응기 (Membrane Bio Reactor, MBR)
반도체 산업에서 활용되는 또 다른 폐수 처리 기술로 막생물반응기 (MBR)가 있습니다. MBR은 활성슬러지 공정과 막 여과 (Membrane Filtration)를 결합하여, 생물학적으로 처리된 폐수에서 입자와 활성슬러지를 효율적으로 분리합니다.
폐수는 먼저 미생물이 포함된 반응기로 유입됩니다. 이 미생물은 폐수 속 유기물 분해에 핵심적인 역할을 하며, MBBR과 달리 생물막이 아닌 활성슬러지로 폐수에 부유합니다. 또한 혐기성, 무산소, 호기성 구역을 활용해 다양한 미생물의 특성을 최대한 활용하며, 활성슬러지는 각 구역을 통과하며 처리됩니다.
호기성 미생물의 활성을 유지하기 위해 공기를 주입하여 성장과 오염물 분해를 촉진하며, 혐기성·무산소 구역은 공기 주입 없이 혼합됩니다. 이후 폐수는 막 여과 장치를 통과하며, 특수 막을 통해 미세 입자와 활성슬러지를 제거합니다. 막은 주기적으로 역세척을 통해 세정되며, 알칼리, 산, 효소, 차아염소산염 등을 사용해 오염을 제거합니다. 활성슬러지는 반응기 상류로 재순환되어 막 챔버 내 과도한 농도를 방지하고, 과정에서 발생한 과잉 슬러지는 별도로 제거됩니다.
정화된 폐수는 재사용하거나 중앙 하수도로 방류할 수 있으며, 필요에 따라 추가 정화 과정을 통해 더 높은 수질을 확보할 수 있습니다. MBR 공정의 장점으로는 방류수 내 고형물 제거, 높은 활성슬러지 농도로 인한 반응기 부피 절감, 단계적 여과 용량 확대 용이, 중력 침전 대비 소형화된 고형물 분리 등이 있습니다.
반도체 산업의 화학-물리적 폐수 처리
화학-물리적 폐수 처리는 중금속, 유기물, 산·염기, 입자 등을 폐수에서 제거하기 위해 다양한 공정을 결합한 처리 방식입니다. 고객의 요구 사항에 따라, 당사의 전문가 팀이 최적의 결과를 달성할 수 있도록 어떤 공정을 조합할지 결정합니다.

DAS EE의 주요 폐수 처리 공정
여과
여과는 액체에서 고형물을 분리하는 기계적 처리 공정입니다.
반도체 산업에서는 마이크로필트레이션, 울트라필트레이션, 나노필트레이션, 역삼투 등 특정 크기의 입자와 분자를 걸러낼 수 있는 막 여과(Membrane Filtration) 방식이 특히 적합합니다. 이 공정은 콜로이드 물질과 세균 제거, 수질 탈염에도 활용될 수 있습니다.
부상법
플로테이션 공정은 알루미늄 황산염, 염화철 등 응집제와 플록큘런트를 활용하여 액체에 분산되거나 부유하는 물질을 제거합니다.
이 공정은 MBBR에서의 활성슬러지 분리 등 이전 처리 단계에서 발생한 입자성 오염물 제거에 효과적이며, 이후 폐수를 추가 정화 공정으로 처리하기 전 단계에서 중요한 역할을 합니다.
침전
침전 공정은 중력에 의해 고형물을 분리하는 방법으로, 얕고 거의 흐름이 없는 탱크에서 수행됩니다. 탱크는 일반적으로 체류 시간을 기준으로 설계되며, 물은 입자가 가라앉을 때까지 일정 시간 머물러야 합니다. 입자의 침강 속도가 빠를수록 침전물의 크기는 작아집니다.
입자 크기에 따라, 침전 공정은 중력을 활용한 견고하고 에너지 효율이 높은 단순한 고형물 분리 방법입니다. 또한 Lamella Clarifier를 사용하면 설치 공간 측면에서 공정을 더욱 최적화할 수 있습니다.
산화/환원
산화 공정은 생분해가 어려운 유기물을 제거하는 데 활용됩니다. 특히 과산화수소 (H₂O₂)나 오존 (O₃)을 이용한 UV 광 촉매 기반 고급 산화 공정 (Advanced Oxidation Process, AOP)은 미량 오염물질을 안정적으로 분해합니다.
이 공정은 또한 중금속 복합체 (Heavy Metal Complex)를 분해하는 데에도 적용할 수 있습니다.
흡착 및 화학흡착
흡착은 고체 표면에 물질이 축적되는 현상을 의미하며, 일반적으로 Van der Waals force을 통해 발생합니다. 반면, 화학흡착은 물질이 화학 결합을 통해 표면에 결합되는 방식으로, 흡착과 달리 대부분 비가역적입니다.
활성탄은 다공성 표면을 통해 다양한 물질을 결합할 수 있으며, 이를 통해 PFAS (과불화 및 폴리불화 알킬 물질)와 같은 유기 화합물 및 용존 물질을 폐수에서 효과적으로 제거할 수 있습니다.
또한 도핑된 활성탄과 수산화철 (Fe(OH)₃) 과립은 오염물과 반응하여 비소 및 중금속을 제거하는 데 사용됩니다.
중화
중화 공정은 폐수의 pH 값을 조절하는 데 사용됩니다.
특히 침전이나 응집 공정 후에 필요에 따라 산 또는 알칼리를 첨가하여 pH를 조정합니다. 또한 생물학적 처리 전에 중성 조건을 맞춰 미생물이 손상되지 않도록 하는 데에도 활용됩니다.
침전
침전 공정은 용해된 물질을 화학적으로 고형화하여 폐수에서 분리하는 방법입니다. 중금속은 적절한 약품을 첨가하여 용해도가 낮은 금속 수산화물로 침전시킵니다.
불소 이온과 같은 음이온은 칼슘, 철, 알루미늄 염과의 반응을 통해 침전시킬 수 있으며, 철 및 알루미늄 염은 인산염 침전에도 사용됩니다.
응집
응집 공정은 폐수 속 부유 입자나 콜로이드 상태의 미세 입자를 제거하는 방법입니다.
적절한 응집제와 보조제를 사용하여 미세 입자를 결합시켜 거대 응집체로 형성하면 침전이 용이해집니다. 이를 통해 침전 특성이 향상되고, 잔류물 탈수 효율도 높일 수 있습니다.
이온교환
이온교환기는 용액 내의 이온을 다른 이온으로 선택적으로 치환할 수 있는 재료입니다. 예를 들어, 칼슘 이온 (Ca²⁺)을 나트륨 이온 (Na⁺)으로 치환할 수 있습니다. 이온교환기의 성능이 소진되면 재생이 필요합니다.
이온교환기는 중금속 및 특정 이온을 선택적으로 제거하는 데 사용되며, 주로 침전이나 응집 후의 “Police Filter” 역할을 합니다. 또한 물의 연수화, 재염화, 탈염에도 활용됩니다. 특히 반도체 산업에서는 초순수 생산을 위해 필수적인 기술입니다.
반도체 산업은 환경 규제를 준수하면서 자원을 효율적으로 활용하기 위해 폐수를 안정적이고 효과적으로 처리해야 하는 과제에 직면해 있습니다.
DAS Environmental Experts는 약 20년간 산업 폐수 처리 맞춤 솔루션을 제공해왔으며, 폐수 처리 시설의 설계, 시공, 시운전까지 포괄합니다. 이를 통해 반도체 산업에서 생산 공정의 지속 가능성을 높이는 다양한 옵션을 제공합니다.
주요 기술로는 Moving Bed Biofilm Reactor (MBBR)와 Membrane Bio Reactor (MBR) 등 생물학적 처리 공정과, 여과 (Filtration), 플로테이션 (Flotation), 중화 (Neutralization), 흡착 (Adsorption) 등 화학·물리적 처리 공정이 있습니다.
적합한 공정의 선택은 오염물 종류, 생산 요구 사항, 지역 환경 규제 등 다양한 요인을 종합적으로 고려해 결정됩니다.


