DALEA - Point-of-Use 미세먼지 저감 시스템
시간당 최대 390 m³의 배출가스 유량을 안정적으로 처리할 수 있는 시스템으로, 로터리 방식의 미세먼지 집진기를 통합 적용하였습니다.
DALEA - 미세·나노입자 배출 저감
통합된 로터리 미세먼지 집진기는 미세먼지 배출을 최대 98%까지 효과적으로 저감합니다. DALEA는 특히 WF₆ 공정에서 발생하는 Tungsten 분진 제거에 뛰어난 성능을 입증해 왔습니다.
최대 390 m³/h의 처리 용량과 컴팩트한 설계를 갖추고 있어, 신규 및 기존 반도체 공정 (Fab)에 모두 유연하게 적용할 수 있습니다. 또한 다양한 분진 발생 장비 후단에 쉽게 연결하여 사용할 수 있습니다.
로터는 팬 역할을 함께 수행하여 배출가스를 원활하게 이송하고, 압력 손실을 최소화하면서 배기 시스템의 효율 향상에도 기여합니다. 운전 및 유지보수를 위한 접근은 전면과 후면에서 모두 가능해 편의성을 높였습니다.
DALEA로 폐가스 처리를 최적화하세요.
대부분의 분진 발생 장비 후단에 간편하게 연결할 수 있는 POU 입자 분리 솔루션입니다.
DALEA – 기술 사양 및 구성 옵션
DALEA (Particle Seperator)
고속 회전 디스크에 의해 물 제트가 미세한 물방울 안개로 분무되며, 이 안개 속에서 먼지 입자가 원심력으로 분리됩니다. 로터는 폐가스를 흡입하여 압력 손실 없이 이동시키며, 로터와 스테이터 사이의 전단 간극에서 발생하는 난류가 물안개와 입자가 포함된 공정 폐가스를 효과적으로 혼합합니다. 미세먼지는 물에 현탁되며, 정화된 폐가스는 환경으로 자유롭게 배출될 수 있습니다.
