EDC - 정전기 필터를 이용한 Point of Use - 폐가스 처리
EDC는 Electrostatic Dust Collector (정전기식 집진기)를 의미하며, 태양광, LED, TFT, 반도체 산업에서 발생하는 미세입자 및 나노입자 또는 에어로졸이 포함된 공정 폐가스를 처리하는 시스템입니다.
EDC PLUS - 미세·나노입자 배출 저감
EDC PLUS 는 Point-of-Use에서 최대 270 m³/h의 미세입자 및 나노입자, 에어로졸이 포함된 공정 폐가스를 처리할 수 있는 정전기식 집진기입니다. 태양전지나 평판 디스플레이(FPD/LCD) 제조 공정 등에서 발생하는 폐가스를 효율적으로 저감합니다.
EDC PLUS를 활용한 산업 공정의 효율적 처리
이 집진기는 극미세 입자까지 최대 99.9% 배출 저감이 가능하며, 배기 막힘을 효과적으로 방지합니다. 대부분의 폐가스 저감 장치와 호환되며, 운전 및 유지보수 접근은 전면과 후면에서 모두 가능합니다.
EDC PLUS로 폐가스 처리를 최적화하세요.
태양광, LED, TFT/LCD, 반도체 산업에서 발생하는 특히 높은 입자 및 에어로졸 농도의 공정에 최적화 되었습니다.
EDC PLUS – 기술 사양 및 구성 옵션
EDC PLUS (Particle Separator)
폐가스는 먼저 pre-scrubber로 유입된 후, 세정액 저장 탱크를 겸하는 탱크로 이동합니다. Pre-scrubber에는 노즐이 장착되어 폐가스 흐름을 물로 포화시키고 난류 흐름을 생성합니다.
그 후 폐가스는 정전기식 집진기(EDC) 튜브로 유입되며, 이곳에서 포함된 미세입자와 나노입자가 이온화되어 접지된 물막(water wall)에 침전됩니다. 여과된 미세먼지는 스크러버 용액에 현탁됩니다. 집진기는 방출 전극 자동 세척 장치를 갖추고 있습니다. 최종적으로 남은 폐가스는 독일 대기오염법(TA Luft)의 엄격한 기준을 충족합니다.
