EDC - 정전기 필터를 이용한 Point of Use - 폐가스 처리
EDC는 Electrostatic Dust Collector (정전기식 집진기)를 의미하며, 태양광, LED, TFT, 반도체 산업에서 발생하는 미세입자 및 나노입자 또는 에어로졸이 포함된 공정 폐가스를 처리하는 시스템입니다.
EDC PLUS - 마이크로·나노 입자 배출 저감 기술
EDC PLUS 는 마이크로·나노 입자 및 에어로졸이 포함된 공정 배출가스를 Point-of-Use에서 처리하는 전기집진 시스템으로, 최대 270 m³/h까지 대응 가능합니다.
반도체 산업에 최적화된 솔루션으로, LED 제조 시 비소화수소 (AsH₃) 및 포스핀 (PH₃) 산화 과정에서 발생하는 입자성 배출물 처리에 효과적입니다.
EDC PLUS를 활용한 산업 공정의 효율적 처리
해당 집진기는 초미세 입자까지 포함한 입자 배출을 최대 99.9%까지 저감하며, 배기 막힘을 효과적으로 방지합니다. 또한 대부분의 입자 발생 장비 후단에 적용 가능하며, 운전 및 유지보수는 전면과 후면에서 모두 접근할 수 있습니다.
EDC PLUS로 폐가스 처리를 최적화하세요.
태양광, LED, 반도체 산업에서 입자 및 에어로졸 발생량이 높은 공정에 최적화된 솔루션입니다.
