TILIA – 내부 백업 기능을 갖춘 듀얼 반응기 시스템
TILIA DUO 는 증가하는 공정 가스 유량을 효율적으로 처리하도록 설계되어, 여러 기존 폐가스 처리 시스템을 대체할 수 있습니다.
TILIA – 반도체 산업의 고급 Etch 및 CVD 공정을 위한 폐가스 처리
TILIA는 반도체 및 태양광 산업의 화학적 및 물리적 공정에서 사용되거나 공정 중 발생하는 인화성, 불화물, 유독성 또는 장기간 환경에 해로운 가스 및 반응 생성물을 처리하는 시스템입니다. 폐가스는 연소 과정을 거친 후 세정기에서 처리되며, 이 과정에서 입자는 분리되고 용해성 가스 성분은 세정액을 통해 제거됩니다.
TILIA는 설치 면적 대비 처리량 효율이 뛰어나며, 공정 장비 인터페이스를 추가로 통합하면 운전 비용을 최적화할 수 있습니다.
TILIA를 활용한 산업 공정의 효율적 처리
TILIA DUO
TILIA DUO 는 각각 하나의 연소 반응기와 그 위에 통합된 demister가 있는 세정기로 구성된 두 개의 독립 유닛으로 이루어져 있습니다. 각 유닛은 별도의 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다.
TILIA DUO 는 TILIA DUO 2+2, TILIA DUO 4+4 및 TILIA DUO 6+6 세 가지 버전으로 제공됩니다. 각 유닛은 2, 4, 6개의 폐가스 인렛과 동일한 수의 추가 인렛을 갖추고 있으며, 추가 인렛은 백업 라인을 통해 다른 유닛과 연결됩니다. 필요 시, 두 유닛 중 한 유닛의 폐가스를 다른 유닛으로 전환할 수 있어, 시스템은 내부 백업 기능을 갖추고 매우 높은 가용성을 제공합니다.
최고 수준의 저감 시스템: TILIA, SEMI SCC 온실가스 기준 초과 달성
DAS Environmental Expert GmbH는 지속 가능한 반도체 배출 관리 분야에서 선도적 위치를 다시 한번 입증했습니다. 독립 검증 결과, TILIA 폐가스 저감 시스템은 CF₄ 및 기타 불화 온실가스에 대해 파괴·제거 효율(DRE) 99.9% 이상을 달성했습니다.
이 성능은 2024년 SEMI SCC 백서 "F-GHG 및 아산화질소 반도체 저감 기술 개요"에서 정의한 최소 DRE 95% 및 목표 DRE 99%를 초과하며, 업계 새로운 기준을 제시합니다. TILIA는 기술적으로 더 높은 효율이 가능할 뿐만 아니라, 이를 통해 실질적인 지속 가능성과 경제적 이점을 제공함을 입증합니다.
안전한 폐가스 처리를 위한 Burn-Wet 기술
DAS Environmental Experts의 컴팩트 Burn-wet 조합 시스템은 수십 년간 축적된 폐가스 처리 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 공정 가스는 구성 성분에 따라 ring-shaped burner에서 산화, 환원 또는 열분해 과정을 거치며 처리됩니다. 이어지는 습식 스크러빙 단계에서는 발생한 화합물을 안정적으로 냉각·포집합니다. 이 사용 시점 기술은 불소 화합물, NH₃, SiH₄ 또는 H₂등 다양한 산업 폐가스를 안전하고 효율적으로 처리할 수 있도록 하며, 전 세계 반도체 산업에서 활용되고 있습니다.
TILIA로 폐가스 처리를 최적화하세요.
인화성, 불화물, 유독성 또는 장기간 환경에 해로운 가스 및 반응 생성물을 효율적으로 처리합니다.
TILIA – 기술 사양 및 구성 옵션
TILIA (burn-wet)
폐가스는 연소 반응기로 공급되어 연료 가스(NG, LPG, H₂)와 산화제와 함께 연소됩니다. 설계에 따라 가스는 상부에서 하부로 흐르며, 고온에서 화학 결합이 파괴되고 산화되어 안정된 화합물로 전환되며, 이후 세정 구간에서 제거됩니다.
처리된 폐가스는 세정기 내에서 역류 방식으로 통과합니다. 다수의 분사 노즐과 demister가 세정액을 가스 흐름에 접촉시키고, 입자를 현탁시키며 산성 성분은 알칼리성 액체에 의해 중화됩니다.
Burner 와 scrubber 아래에는 세정액(필요 시 수산화물 포함 물)을 수집하는 탱크가 위치하며, 세정액은 순환하며 용해성 가스를 흡수합니다. 또한, 열교환기가 과열을 방지하며, demister에서 분리된 액적은 다시 세정액 탱크로 반환됩니다.
