UPTIMUM - CVD 공정 : 효율적인 폐가스 처리
UPTIMUM은 DAS Environmental Experts의 Burn-Wet 기술 포트폴리오에 속하며, 특정 CVD 공정에서 높은 가동률(Uptime) 요구를 충족하도록 특별히 설계된 시스템입니다.
UPTIMUM – Point of Use 솔루션
모든 UPTIMUM 시스템은 설치 면적이 작고, 전면과 후면에서 서비스 및 유지보수 접근이 가능합니다. 설치가 빠르고 용이하며, 별도의 전문 장비가 필요하지 않습니다. 공정 장비 인터페이스를 통해 운전 비용과 전반적인 안전성을 최적화할 수 있습니다.
UPTIMUM를 활용한 산업 공정의 효율적 처리
UPTIMUM은 다양한 산업 분야의 CVD 공정에서 최대 6개의 독립 가스 인렛을 처리하도록 최적화되었으며, 다양한 연료 가스와 세정액을 사용할 수 있습니다. UPTIMUM PLUS 는 박막 실리콘 태양광 공정의 요구 사항에 맞춰 특별히 설계된 변형으로, H₂와 NF₃(또는 F₂) 등의 가스를 더 많은 양으로 처리하면서도 시스템 가용성을 유지할 수 있습니다.
안전한 폐가스 처리를 위한 Burn-Wet 기술
DAS Environmental Experts의 컴팩트한 Burn-Wet 시스템은 수십 년간 축적된 폐가스 처리 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 공정 가스는 구성 성분에 따라 버너가 장착된 반응기에서 산화, 환원 또는 열분해 과정을 거쳐 처리되며, 이어지는 습식 스크러빙 단계에서 생성된 화합물을 안정적으로 냉각·포집합니다.
이 Point-of-use 기술은 불소 화합물, NH₃, SiH₄, H₂ 등 다양한 산업용 폐가스를 안전하고 효율적으로 처리하며, 전 세계 반도체 산업에서 활용되고 있습니다.
UPTIMUM으로 폐가스 처리를 최적화하세요.
UPTIMUM은 다양한 산업 분야의 폭넓은 CVD 공정에 적용될 수 있도록 설계되었습니다.
