첨단 제조업을 위한 폐가스 처리 시스템
DAS Environmental Experts는 1991년부터 전 세계 첨단 산업 분야에서 고객 맞춤형 폐가스 처리 설비를 개발, 제작해 왔습니다. 원칙적으로 DAS 스크러버는 응축성, 가연성, 부식성, 반응성, 독성 및/또는 자연발화성 가스(예: SiH₄, R–SiH₃, Terpineol, H₂, NH₃, hydrogen halides)와 미세먼지를 처리합니다.
Point-of-Use 폐가스 처리용 공정 및 제품 포트폴리오
드레스덴을 비롯한 전 세계 DAS 팀의 폭넓은 기술 전문성을 바탕으로, 당사의 반도체, MEMS, 태양광, 평판 디스플레이, LED 산업 고객들은 높은 수준의 혜택을 누리고 있습니다.
고객 제조 공정에 대한 세밀한 이해를 통해 폐가스 처리가 제조 공정의 안전을 확보하는 데 필수적임을 잘 알고 있으며, 이러한 전문성을 활용하여 고객 맞춤형이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 당사는 다양한 산업 분야에서 시간당 최대 5,000 m³의 폐가스 흐름을 처리할 수 있는 사용 지점 (Point-of-Use) 스크러버를 개발 및 제작합니다.
필요에 따라 당사는 고객이 선택한 진공 펌프를 포함한 통합 폐가스 처리 개념이나, 건식 처리 솔루션과 같은 기타 구성 요소를 시스템에 포함하여 제공합니다.
또한 다양한 기술을 스마트하게 조합하여 고객 공정 요구에 최적으로 맞는 완전한 시스템을 구축할 수 있습니다. 당사의 사용 지점 (Point-of-Use) 폐가스 처리 제품 포트폴리오는 네 가지 기술 그룹으로 구성되어 있습니다.
당사의 Point-of-use 폐가스 처리 제품 포트폴리오는 각 오염물질 유형과 공정 요구 사항에 정확히 맞춘 여러 기술 그룹으로 구성되어 있습니다. 여기에서 열적 처리 공정 (Thermal Processes), 습식 화학 처리 (Wet Chemical Treatment), 촉매 시스템 (Catalytic Systems), 기계적 입자 분리 (Mechanical Particle Separation) 등 각 공정에 대해 자세히 확인할 수 있습니다.
개별 공정에 대한 자세한 내용은 여기에서 확인하세요.
제품 개요
포트폴리오
Burn-Wet 시스템
Burner와 Scrubber의 콤팩트한 결합은 DAS EE 설립 이후 지속적으로 축적해 온 전문 기술을 기반으로 합니다. 폐가스는 원형 Burner로 유입되며, 화학 조성에 따라 산화, 환원, 열분해등의 다양한 반응이 일어납니다. 이후 적절한 스크러빙 액체가 반응 산물을 흡수하고 냉각합니다.
이 기술은 사용 지점에서 직접 안전하게 폐가스를 처리할 수 있으며, DAS의 여러 처리 시스템에서 플루오르화합물, 암모니아, 실란, 수소 등 유해 물질 제거에 활용됩니다. 특히 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.
Plasma-Wet 시스템
Plasma-Wet 기술은 지속성 오염물질 (PFC 가스 등) 처리에 특히 효과적인 혁신적 폐가스 처리 공정입니다.
Plasma-Wet 시스템은 질소 운반가스 내에서 직류로 플라즈마를 생성합니다. 공정의 핵심은 폐가스에 고에너지를 전달하여 오염물질을 분해하고, 이를 통해 높은 효율의 오염물질 저감을 실현하는 것입니다.
조절 가능한 출력 덕분에 시스템은 다양한 요구 사항과 오염물질 농도에 맞춰 최적 구성할 수 있어, 다용도이면서 효율적인 폐가스 처리가 가능합니다.
Burn-Dry 시스템 (열분해)
공정에서 발생하는 폐가스는 분해 구역 (decomposition zone)에서 처리됩니다. 필요 시 연료가스를 추가할 수도 있으며, 폐가스의 화학적 조성에 따라 산화, 환원, 열분해등의 다양한 반응이 일어납니다.
LARCH Burner 제품군은 특히 LED 및 GaN 산업의 MOCVD 공정을 위해 설계되었습니다. H₂와 NH₃와 같은 대표적인 가스를 대량으로 안정적으로 처리할 수 있습니다.
촉매 시스템
DAS EE의 촉매 시스템은 반도체 산업을 위한 첨단 폐가스 후처리 솔루션으로, 선택적 촉매 환원 (SCR) 기술과 암모니아를 활용한 DeNOx 처리, 그리고 고효율 Membrane 필터를 통한 미세먼지 제거를 제공합니다.
이 시스템은 공정 열의 80% 이상 회수를 통해 에너지 소비를 최소화하면서도 뛰어난 저감 효율을 실현합니다. 신뢰성 높고 환경 친화적인 최첨단 솔루션으로, 환경 규제를 선제적으로 충족하고 지속 가능성 목표 달성을 지원합니다.
입자 분리기 — 집진 시스템
입자 분리는 배관 막힘 방지와 유해 먼지 환경 배출 방지를 위해 폐가스 처리에서 필수적인 과정입니다. 당사의 시스템은 미세, 초미세 입자 또는 에어로졸이 포함된 공정 폐가스를 효과적으로 여과합니다.
DAS EE는 이를 위해 전기 집진기, 원심 분리기 등 다양한 분리 기술을 적용하며, 시스템은 압력 손실 최소화를 위해 최적화되어 있습니다.
일부 시스템은 청소 과정에서 추가적인 음압을 생성하여 안전성을 더욱 강화합니다.
RDC를 활용한 폐가스 처리
RDC (Rotary Dust Collector) 제품군은 원심력을 이용해 미세먼지를 분리하는 시스템입니다. 순수 기계식 로터-스테이터 (rotor-stator) 원리를 기반으로 설계되었습니다.
Rotor는 송풍기 역할을 하며 폐가스를 전진시키므로, 압력 손실 없이 후속 배기를 안정적으로 지원합니다.
Wet 시스템 (Scrubber)
습식 세정 (Wet Scrubbing) 공정은 공정 폐가스 내 수용성 오염물질 처리에 효과적인 방법입니다. 당사의 습식 스크러버는 주로 반도체 산업의 사용 지점 습식 처리 시스템으로 설치됩니다.
진공 펌프 바로 뒤에 설치되어, 반도체 생산 설비의 배출가스 시스템을 오염과 부식으로부터 최적으로 보호합니다. 또한 유지보수가 빠르고 용이하여 운영 효율성을 높입니다.
자주 하는 질문
FAQ
컨설팅 및 기술 선정
적합한 기술의 선택은 현장 상황을 분석한 후 당사의 애플리케이션 전문가가 진행합니다. 공정 장비, 진공 펌프, 가스 종류와 유량, 사용 가능한 운영 자재 등의 정보가 결정적인 요소입니다.
장기적인 운전 안정성과 장비 가용성을 보장하기 위해, 시스템 시운전 이후에는 요청 시 또는 현장 지원 형태로 서비스 및 기술 지원을 제공합니다.
