用於MEMS生產的創新廢氣處理方案

對於工業4.0、自動駕駛汽車和物聯網(IoT)等面向未來的技術而言，MEMS組件至關重要，因為它們是類比世界和數位世界之間的橋樑，也是數位資料處理的樞紐。

隨著這些面向未來的技術的快速發展，MEMS的市場和市場份額也在不斷增長。目前，MEMS在汽車領域的需求量很大，它們有助於提升駕駛舒適性和安全性。此外，MEMS在自動化技術領域的應用也日益增加。在MEMS的生產過程中，我們的廢氣處理系統能夠有效地補充製造流程。無論採用何種設備或工藝，我們的減排技術都能可靠地從廢氣流的源頭（使用端）直接去除有害物質。

MEMS的製造採用半導體產業的典型製程。例如，單晶片微系統（MS1）除了採用微電子領域的通用技術外，還包含一些額外的專用製程步驟。自90年代成立以來，DAS Environmental Experts一直致力於為半導體產業開發、製造和安裝客戶量身打造的廢氣處理技術。我們亦可根據客戶需求提供系統維護與保養服務。

從反應濺鍍、原子層沉積 (ALD) 和化學氣相沉積/等離子體增強化學氣相沉積 (CVD/PECVD) 等多種薄膜沉積技術，到各種蝕刻、結構化和晶圓清洗技術，我們為所有製程步驟提供適當的廢氣處理解決方案。我們的技術採用靈活的整合系統理念。基於小型化設計，我們的系統通常可安裝在機櫃內，佔地面積不到一平方公尺（10.8 平方英尺）。

因此，有害氣體和混合氣體的去除可在使用端安全可靠地進行。有害物質透過燃燒/水洗式系統去除，該系統配備獨立的燃燒/水洗式Scrubber，並藉助靜電式集塵系統進行過濾。殘留氣體可透過排氣系統迅速排放到環境中。我們系統的排放符合所有監管要求。

我們的產品組合涵蓋了 MEMS 製造中所有製程的廢氣處理技術。我們的系統全自動運作。它們採用感測器控制，並符合最高安全標準，這一點已通過我們眾多相關認證得到證實。