半導體產業廢氣和廢水處理的全面解決方案

在DAS，我們深耕使用端處理技術領域逾三十載。客戶不僅認可我們在製程廢氣處理方面的深厚專業知識，更高度評價我們在水處理全領域的技術實力。

保護人類、環境和生產 - DAS 的使用端廢氣處理技術

在高科技半導體生產中，晶圓清洗、蝕刻、化學氣相沉積（CVD）和磊晶等眾多製程會產生含有環境相關和安全關鍵物質的製程廢氣和廢水。這些氣體中有許多是有毒、易燃或溫室氣體。如果未經過濾直接排放到中央廢氣處理系統，則存在沉積物、爆炸性混合物以及生產停機的風險。

DAS Environmental Experts 為此提供量身打造、安全且高效的解決方案：我們的使用端廢氣處理系統- 如燃燒/水洗式系統、水洗式系統和靜電式集塵系統 - 可直接從污染源頭清除污染物。

最終得到無顆粒、無害的氣體混合物，可安全地經由廢氣排放系統排出。此外，我們也負責處理處理過程中產生的液體，確保採用一致、安全的處置方案。

在水與廢水處理領域，我們為半導體產業量身定制解決方案，涵蓋現有系統的現代化改造到統包式(Turnkey)的全新設備。我們的專家負責規劃、建造和營運符合您生產需求的使用端處理、半集中式和集中式設備。憑藉著15餘年全球產業廢水處理廠建設經驗，我們擁有豐富的生物和化學物理製程組合，能夠可靠地將污染物濃度降低至法定限值以下。所有系統均採用模組化設計，易於連接，並符合最高的純度、安全性和可靠性標準——確保高科技生產與環境保護在您的工廠中齊頭並進。

靈活的使用端廢氣處理解決方案

廢氣處理

自 1991 年起，由 DAS 環境專家公司研發和製造的使用端設備已在相關領域取得了卓越成就。 DAS 設備幾乎適用於晶片行業所有現代化的塗層和蝕刻設備。廢氣經過安全環保的處理，符合相關法規要求。 DAS 技術基於靈活的整合產品理念。最小的設備佔地面積不足 1 平方米。 DAS 技術採用全自動感測器控制，並符合最高認證的安全標準。

我們的廢氣處理組合