針對不同種類懸浮微粒汙染的解決方案
高效解決懸浮微粒污染:DAS環境專家提供先進技術,可靠清除最小微粒——確保空氣更潔淨,工業流程更優化。
針對不同種類懸浮微粒汙染的解決方案
市面上常見的過濾分離器的缺點是過濾器會造成壓力損失。因此,DAS Environmental Expert GmbH 開發了專用於廢氣處理的靜電過濾器,主要用於半導體產業,以及專門針對微粒優化的濕式分離器。

靜電式集塵系統
EDC和EDC PLUS系統是靜電式集塵系統,用於對含有微粒和懸浮微粒的製程廢氣進行使用端 (point-of-use) 處理。一套系統每小時可處理高達270立方公尺的廢氣。這些系統可消除高達99.9%的微粒,如氧化矽。
預處理後的製程廢氣先用水飽和,然後送入分離塔。在分離塔中,微粒、奈米顆粒和氣溶膠在靜電場的作用下被電離,然後透過附著在沖洗過的內壁上的接地洗滌液膜進行分離。分離出的懸浮微粒在洗滌液中,從而防止懸浮微粒逸出系統,進入無塵室和其他敏感生產區域。

旋風式集塵器
RDC系列系統使用離心力分離懸浮微粒。其運轉奠定在純機械轉子-定子原理:使用高速旋轉圓盤將水柱霧化。從而產生最細微水滴組成的水霧,利用離心力將當中的懸浮微粒分離。轉子能確保在不損失壓力的情況下,將廢氣吸入並向前推進。轉子和定子之間的剪切間隙產生的渦流,可確保水霧和載有微粒的製程氣體彼此有效混合。懸浮微粒懸浮在水中;廢氣經過處理後可自由排放到環境中。
