TSUGA－一個成功的故事

DeNOx 是一種用於去除半導體生產過程中產生的氮氧化物的製程，以及其後在 Subfab 中製程氣體的淨化。NOx是危害環境和人類健康的有害化合物。DeNOx利用催化劑和還原劑，在氮氧化物排放到大氣之前將其吸收或化學轉化。這有助於減少環境污染。

DAS Environmental Experts 致力於為客戶提供高效的廢氣處理創新解決方案。 DAS EE 與德勒斯登工業大學 (TU Dresden) 和弗萊貝格工業大學 (TU Bergakademie Freiberg) 合作，開發了開創性的獨立式二次廢氣處理解決方案 TSUGA。此方案可與燃燒/水洗式系統完美配合，以實現更永續的生產。

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