廢氣處理的客製化概念與解決方案
廢氣處理產品必須符合保護人類生命和環境的基本法律和標準。創新的 DAS Environmental Experts 解決方案透過強化和提升處理設備、方法和製程，不斷致力於開闢增加產品價值的新潛力。
廢氣處理的強化解決方案
強化個別減排方案的可能性眾多。
根據當地條件（如佔地面積限制、特定材料需求，以及客戶對高科技產品的理念），對環境技術的要求各不相同。DAS EE解決方案首要著重於擴展安全參數、成本與能源節約潛力，以及尖端服務。
IPAS - 整合式幫浦和減排解決方案
DAS Environmental Experts 推出的 IPAS（整合式幫浦和減排解決方案）概念，擴展了其廢氣處理產品組合，將廢氣處理和幫浦功能整合於同一機櫃中。此概念可應用於所有 DAS EE 廢氣處理設備。客戶可自行選擇幫浦供應商，並整合選購的吸收器濾芯和集塵系統解決方案。
幫浦和廢氣處理設備之間的短接管路降低了洩漏和堵塞的風險。與使用兩個獨立的系統相比，此整合解決方案不僅節省空間，更透過共通介面實現操作整合。
因應更高安全需求的解決方案
DAS系統可處理易燃、腐蝕性、有毒和反應性廢氣以及其他類似物質。因此，處理過程中的安全至關重要。 DAS系統內部先進的感測器技術可實現對系統狀態的即時監控。此外，我們也為客戶提供多種個人化選項，包括：
SEMI S2-認證：SEMI S2安全指南為半導體製造設備制定環境、健康與安全規範。DAS EE廢氣處理系統符合此規範，並可選擇在交付前為每套系統取得認證。
備援功能：當設備進行維護時，我們的DUO系統可將氣流重新導向至系統內的第二個燃燒器
IPAS 概念：將廢氣處理和幫浦整合在一個系統中，縮短了系統組件之間的連接，並降低了洩漏和堵塞的風險。
雙系統保護：多腔體製程設施對廢氣處理廠的處理能力提出了新的挑戰。我們針對這項挑戰推出了雙系統TILIA。應客戶要求，我們安裝了不銹鋼隔牆，將兩個系統在空間上分隔開來。
增加功能安全性：在新產品開發和產品改進方面，DAS EE推出了Safety SPS，這是一種整合故障安全技術的連續控制機制，不僅強化廠區安全性，更簡化並加速故障排除流程。
增加製程穩定性
當所有製程順利運行並達到理想產量時，高科技製造業的效率最高。由於使用端廢氣處理設備直接與製程設備相連，其運行時間將直接影響生產進度。
我們的備援解決方案可確保設備持續穩定運作：當其中一組燃燒器需進行定期維護時，系統將自動將廠區內的廢氣流導向第二組燃燒器。此備援技術使DAS EE廢氣處理廠的設備可用性達到99.9%。
利用 SALIX 提高製程穩定性
除了上述解決方案外，我們最新的尖端技術研發成果也著眼於製程穩定性。我們的廢氣處理Scrubber- SALIX 旨在減少單晶圓水洗式清洗過程中產生的廢氣。先前，這些廢氣需要透過酸鹼排氣切換箱分別導入不同的廢氣處理系統，降低了製程切換的靈活性。而在 SALIX 中，單一製程設備的所有製程腔體的廢氣都直接導入Scrubber，該Scrubber僅連接到一個中央排氣管路。
節約能源的潛力
廢氣處理設備最大的節能潛力，在於將廢氣處理系統與製程機台進行直接連線。透過乾接點（Potential-free contacts）或乙太網路（Ethernet）等方式將兩者串聯，處理設備就能配合機台運作，切換不同的燃燒器功率或進入待機模式（Idle mode）。落實此概念後，節能效率可達 20% 以上。更重要的是，這種做法能最佳化燃氣（如天然氣）與助燃劑/耗材（如壓縮空氣、乾燥壓縮空氣 (CDA)、氧氣、水、冷卻水及鹼液）的消耗。
連線服務
為了偵測系統問題並在機台當機發生前提供對策，前瞻性數據分析 (Proactive data analysis) 變得日益重要。DAS Environmental Experts 正致力於開發多樣化的解決方案，包含預測性維護與遠端診斷，以確保半導體廢氣處理系統設備的穩定運行。
