AQUABATE - 可靠去除水溶性污染物
AQUABATE是一款採用純水洗式Scrubber技術的解決方案，能靈活且客製化地於使用端直接去除製程廢氣中的水溶性有害物質。
整合型低維護成本的AQUABATE 水洗式Scrubber
AQUABATE 水洗式Scrubber 維護作業簡便迅速，前後兩側皆設有操作與維護通道。此經濟實惠的系統僅需佔用小空間，透過製程機台連動介面可優化運作成本與整體安全性。
AQUABATE 產品系列
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI 是專為處理半導體產業中磊晶製程的廢氣而設計的。該Scrubber符合使用氫氣作為製程載氣時所需的高安全標準。在洗滌過程之後，氫氣會被安全地稀釋至其爆炸下限值。廢氣可透過多達三個獨立連接口導入，其特殊設計可有效防止堵塞。所有進氣口與輸送管線均配備可選配的加熱系統。
AQUABATE FLEX
AQUABATE FLEX 是一款模組式水洗式Scrubber，專為高效處理各類應用廢氣中的水溶性成分而設計。其進氣口經特殊設計可有效防止堵塞。本設備提供單級或雙級Scrubber配置，憑藉整合模組化設計，可依據客戶需求進行優化調整。根據Scrubber配置，可選配將氣體入口加熱至洗滌階段或洗滌液槽溫度，以避免廢氣輸送過程中因氣體冷凝引發的問題。為提升處理效率，洗滌液可選配添加化學藥劑進行強化處理。
使用 AQUABATE 優化廢氣處理
可靠地處理氯化氫、氯矽烷、氨氣等氣體，以及蝕刻製程中產生的降解產物。
AQUABATE - 技術規格和選配方案
AQUABATE (水洗式)
製程設備的廢氣透過多達四條獨立管道導入Scrubber，此設計專為防止堵塞而打造。隨後，氣流將依順流或逆流原理，經由填料塔或噴淋洗滌器進行淨化。氣流中的水溶性成分透過物理吸附作用於水中得以去除。為提升洗滌效率，洗滌液可選擇性添加化學藥劑強化效果。本系統可設計為單級或雙Scrubber。經最後吸收步驟後，潔淨氣流中的夾帶洗滌液滴將由除霧器去除。系統由可編程邏輯控制器自動控制，並符合SEMI S2安全規範要求。
