EDC - 採用靜電式集塵系統的使用端廢氣處理設備

EDC 代表"靜電式集塵系統"。這些系統負責處理太陽能、LED、TFT 和半導體產業中累積的含微粒子和納米粒子或含氣霧的製程廢氣。

圖片顯示的是一款白色工業設備,配備數位操作面板和各種按鈕,標有品牌名稱「DAS」和「EDC PLUS by DAS EE」字樣。

EDC PLUS - 減少微米和奈米微粒排放

EDC PLUS 是一種靜電式集塵系統,用於處理高達 270 立方公尺/小時的含有微米級和奈米級微粒或氣溶膠的製程廢氣。此系統專為半導體產業的應用而設計,例如用於處理 LED 製程中砷化氫 (AsH₃) 和磷化氫 (PH₃) 氧化產生的顆粒物排放。

圖像中有四位穿著深藍色工裝和戴著安全帽的工人站在工業設備旁,正在交談並微笑著,背景是管道和大型機械。

使用 EDC PLUS 對產業製程進行高效處理

此集塵系統能將包括最細微顆粒在內的微粒物排放量降低多達 99.9%,並有效防止排氣管堵塞。它可安裝於大多數產生微粒物的系統後端。操作與維護可從正面及背面進行。

使用 EDC PLUS 優化廢氣處理

針對太陽能、LED、TFT/LCD 和半導體產業中微粒物和氣溶膠含量特別高的製程進行優化

EDC PLUS - 技術規格與選配方案

EDC PLUS(微粒分離器)

廢氣首先被導入Pre-Scrubber,然後再導入一個同時作為洗滌液儲存槽的槽體中。Pre-Scrubber配備噴嘴,可使氣流與水達到飽和,並產生湍流。隨後,廢氣被導向靜電除塵器的管路中,其中所含的微米及奈米級微粒被電離,並沉降於水牆上的接地水膜上。過濾後的細微粉塵懸浮於洗滌液中。該除塵器配備了放電極的自動自潔機制,並具備內部備援功能:當一組柱體正在進行自動清洗時,其餘組別仍持續進行處理,以確保運作不中斷。殘餘廢氣均符合德國《空氣污染技術指南》(TA Luft)的嚴格標準。

諮詢與技術選擇

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