使用 STYRAX 進行使用端廢氣處理
用於半導體和太陽能產業製程的使用端燃燒/水洗式 與 電漿/水洗式處理系統。
STYRAX - 適用於高產量製程的廢氣處理
STYRAX 是 DAS 專為嚴苛的大量生產環境設計的高效能產品系列。該系列包含使用端燃燒/水洗式與電漿/水洗式系統，佔地面積特別小。
此系列專為處理來自化學氣相沉積 (CVD)、氧化物/聚合物/金屬蝕刻、磊晶、氮化鎵(GaN）、金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)及發光二極體(LED)製造的製程氣體而開發。STYRAX系列以高效能與低環境衝擊為特徵，實現卓越的破壞與去除效率（DRE），例如CF₄的去除率>95%。憑藉對H₂、SiH₄、TEOS等多種CVD氣體的高處理能力，以及全面的安全防護措施，STYRAX解決方案能同步保障環境、健康與設備安全。
使用 STYRAX 對產業製程進行高效廢氣處理
STYRAX 燃燒/水洗式處理
STYRAX 產品系列的開發是基於現代廢氣處理的兩大需求：強化PFC處理效能與延長維護週期。此外，水洗式Scrubber階段經過 HF 優化設計，可將水及/或鹼類消耗降至最低。其特殊有害氣體入口結構能有效防止堵塞。針對特殊製程，更開發出多項延長維護週期的進階選項。
STYRAX 電漿/水洗式
STYRAX 電漿/水洗式系統直接有效率地利用電能，為廢氣處理樹立了新的標竿。由於強大的直流電漿炬和 15 kW 電源的集成，實現了最佳能量輸出。成熟的反應器設計和清洗階段得以保留，使得 STYRAX 電漿Scrubber與先前的天然氣動力設備一樣可靠且易於維護。佔地面積仍小。同時，能耗卻顯著降低了 50%！
燃燒/水洗式技術：安全處理廢氣的解決方案
DAS Environmental Experts 的整合型燃燒/水洗式技術，奠基於數十年廢氣處理經驗。根據氣體成分差異，製程廢氣將在環形燃燒器中進行氧化、還原或熱解處理。隨後的水洗式系統工藝能有效冷卻並固定生成的化合物。這項使用端處理技術可安全高效地處理產業廢氣——包括含氟化合物、氨、矽烷或氫氣的廢氣——並廣泛應用於全球半導體產業。
使用 STYRAX 優化廢氣處理
依靠高效的燃燒/水洗式或電漿/水洗式技術，實現 CF4、SF6 或 NF3 的最大 DRE 和低水消耗。
STYRAX - 技術規格和選配方案
STYRAX（燃燒/水洗式）
製程廢氣中的有害物質會直接從其使用端(Point-of-Use)進行處理。此優化燃燒/水洗式技術採用自上而下的燃燒方式，根據廢氣化學組成觸發多種反應（氧化、還原、熱解）。流體壁/薄膜結構可防止反應器內發生腐蝕及顆粒沉積。
在反應器旁的Scrubber中，可溶性成分被吸收，懸浮顆粒被捕集。洗滌液在冷卻過程中中和了氫鹵化物等燃燒產物。透過在整體減排方案中應用STYRAX技術，高科技產業製造商將能滿足德國空氣污染法規（TA Luft）的嚴格標準。
