燃燒/水洗式廢氣處理系統

在最小的空間內結合燃燒與水洗兩種作業程序，可在使用端安全地處理廢氣

半導體產業廢氣處理

燃燒/水洗式技術應用於多種DAS減排處理系統，用以處理各類危險有害廢氣。例如半導體產業中使用的氟化合物、氨氣、矽烷或氫氣。我們的整合型解決設備佔地面積小且易於維護。透過製程機台介面，可優化運轉成本與整體安全性。

ESCAPE 產品線是我們使用端燃燒/水洗式技術的基礎，該技術在市場上已有超過 25 年的悠久歷史。廢氣處理Scrubber (燃燒/水洗式) 提供靈活且客製化的應用，幾乎可消減半導體與光電產業的所有製程廢氣。介質供應方式可變。

STYRAX產品系列專為處理半導體與太陽能產業中如化學氣相沉積（CVD）等高要求廢棄物處理流程而開發。我們的應用專家將根據客戶特定需求，為可選配燃燒/水洗式或電漿/水洗式處理系統的設備進行配置。此設計能靈活調整介質消耗量。

TILIA 是一款專為半導體與太陽能產業設計的整合型解決方案，能安全處理自燃性、含氟及有毒製程氣體。其結合燃燒與水洗式技術，實現最高分離效率。瞭解 TILIA 如何取代您現有的多套傳統廢氣淨化系統。

UPTIMUM產品系列專為提升機台運行時間而設計，尤其適用於半導體與太陽能產業的化學氣相沉積(CVD)製程。產品名稱UPTIMUM源自「Uptime」（運行時間）一詞，彰顯其燃燒/水洗式系統的高可用性。該設備可適用於多種應用。