LED 產業的高效廢氣處理
安全LED製造與DAS減排處理
在LED製造過程中，會使用大量的氨氣和氫氣作為製程氣體。 DAS的環境工程師們意識到這一趨勢，開發了創新且環保的廢氣處理解決方案。 LED產業是成長最快的高科技市場之一，其應用範圍已從顯示器背光擴展到通用照明。隨著產業的成長，排放量也隨之增加，因此需要高效的廢氣處理方法。 DAS憑藉其先進的系統(例如用於MOCVD製程的 LARCH系統)滿足了這項需求。
高效處理氫氣和氨氣
DAS的環保專家開發了LARCH，這是一款專為MOCVD製程設計的廢氣處理系統。它能夠處理大量的氫氣和氨氣，以及LED生產中常見的少量金屬有機物和摻雜劑。
系統分三個階段運作：首先，氨氣在特殊的分解區分解；其次，氫氣被點燃並氧化；最後，氣體透過熱交換器冷卻。
得益於DAS的技術，處理後的氣體可以安全地排放到環境中。感測器和備援安全系統確保了系統的穩定運作。 LARCH實現了低排放，並取代了傳統的水洗式系統，提供了更環保、更有效率的解決方案。
廢氣處理相關問題聯絡人
針對LED產業安全廢氣處理的客製化減排方案
